[发明专利]一种基于光热效应的纳米键合系统和方法

摘要

本发明公开一种基于光热效应的纳米键合系统，包括衬底，设置在衬底上的至少一块金属电极；金属电极上放置有待融合的纳米线；还包括设置在衬底上方的激光光源，以及将激光汇聚在纳米线与金属电极接触位点处的透镜。本发明还公开一种基于光热效应的纳米键合方法，将纳米线放置在金属电极上，利用透镜将激光汇聚为亚微米级的光斑点，并使激光汇聚点定位于纳米线与金属电极接触位置，通过光热效应，使纳米线和金属电极熔接在一起。本发明通过激光光热键合，一方面可以利用光热效应去除纳米线表面的有机物，使得纳米线和金属电极有效贴合，另一方面由于纳米线和金属电极熔合在一起，因而可以形成非常好的物理连接，力学特性优良，连接稳定可靠。

主权项

一种基于光热效应的纳米键合系统，其特征在于：包括衬底，设置在衬底上的至少一块金属电极；所述的金属电极上放置有待融合的纳米线；还包括设置在衬底上方的激光光源，以及将激光汇聚在纳米线与金属电极接触位点处的透镜。