[发明专利]光罩及其应用于主动开关阵列基板的制造方法在审
| 申请号： | 201710301666.4 | 申请日： | 2017-05-02 |
| 公开（公告）号： | CN107085321A | 公开（公告）日： | 2017-08-22 |
| 发明（设计）人： | 陈猷仁 | 申请（专利权）人： | 惠科股份有限公司;重庆惠科金渝光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;G02F1/1362;G03F1/00 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司11228 | 代理人： | 亓赢 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区石岩街道水田村民*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明为一种光罩及其应用于主动开关阵列基板的制造方法，所述光罩包括一透光区，具有透光性的基材；一半透光区，设置于所述透光性的基材上，且由铬或铬化合物所形成；一遮光区，设置于所述透光性的基材上；以及多条细线反光材质层，设置于所述半透光区和所述遮光区之间，且由铬或铬化合物所形成；其中，所述光罩的透光率依据一低反光材质的掺入及分布密度而调节，使所述半透光区的透光率低于所述透光区的透光率，且高于所述遮光区的透光率，且本发明可以提升画素开口率与降低光罩成本。 | ||
| 搜索关键词： | 及其 应用于 主动 开关 阵列 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种光罩，其特征在于，包括：一透光区，具有透光性的基材；一半透光区，设置于所述透光性的基材上，且由铬或铬化合物所形成；一遮光区，设置于所述透光性的基材上；以及多条细线反光材质层，设置于所述半透光区和所述遮光区之间；其中，所述光罩的透光率依据一低反光材质的掺入及分布密度而调节，使所述半透光区的透光率低于所述透光区的透光率，且高于所述遮光区的透光率。
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