[发明专利]一种集成螺线管型双层磁膜电感及其制备方法有效
| 申请号： | 201710302799.3 | 申请日： | 2017-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN107039395B | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 白飞明;何禹含;钟智勇;张怀武 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L23/522 | 分类号： | H01L23/522 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 甘茂 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明属于集成电路工艺领域，提供一种集成螺线管型双层磁膜电感及其制备方法，用以进一步提升电感感值密度、降低衬底损耗。本发明包括硅衬底、下层磁芯膜、深埋层、下层线圈、绝缘层、上层磁芯膜、绝缘层及上层线圈；下层磁芯膜设置于硅衬底上，深埋层覆盖于硅衬底上、并将下层磁芯膜深埋，深埋层上表面还开设有下层线圈凹槽，下层线圈对应设置于下层线圈凹槽内；上层磁芯膜位于深埋层上，上层线圈位于上层磁芯膜上，下层线圈与上层磁芯膜之间、以及上层线圈与上层磁芯膜之间均设置绝缘层相隔离，上层线圈与下层线圈通过通孔导通；本发明采用双层磁芯膜结构，提高电感感值密度，降低线圈之间的寄生电容损耗，且制备工艺简单、制备成本低，有利于工业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成 螺线管 双层 电感 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种集成螺线管型双层磁膜电感，包括硅衬底、下层磁芯膜、深埋层、下层线圈、上层磁芯膜、绝缘层及上层线圈；其特征在于，所述下层磁芯膜设置于硅衬底上，深埋层覆盖于硅衬底上、并将下层磁芯膜深埋，所述深埋层上表面还开设有下层线圈凹槽，所述下层线圈对应设置于下层线圈凹槽内；所述上层磁芯膜位于深埋层上，所述上层线圈位于上层磁芯膜上，上层磁芯膜与深埋层之间、以及上层线圈与上层磁芯膜之间均设置绝缘层相隔离，所述绝缘层与上层磁芯膜均对应于下层线圈凹槽开设通孔，用于上层线圈与下层线圈导通。
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