[发明专利]一种复合类金刚石碳膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201710302800.2 | 申请日： | 2017-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN107034440B | 公开（公告）日： | 2019-09-17 |
| 发明（设计）人： | 张世宏;赵培云;李福星;陈蒙 | 申请（专利权）人： | 马鞍山市卡迈特液压机械制造有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/16;C23C14/06;C23C16/26;C23C14/02;C23C28/04 |
| 代理公司： | 马鞍山市金桥专利代理有限公司 34111 | 代理人： | 唐宗才 |
| 地址： | 243000 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公布了一种复合类金刚石碳膜及其制备方法,该结构自基体表面底层从内而外依次包括Cr、Ti或Cr和Ti合金打底层，CrC、TiC或CrC和TiC合金过渡层，以及DLC‑1层和DLC‑2层；其中，DLC‑1层和DLC‑2层分别由含有不同混合比例的sp3与sp2杂化碳原子构成；所述膜的DLC层由线性大面积离子源电离乙炔气体获得，适用于涂覆大面积低温处理工件表面；该涂层具有较高的膜‑基结合强度，同时表现出优良的减摩耐磨性能，尤其在应用于大型活塞表面处理后，有效改善了大型活塞在做高速往返运动过程的磨损情况，显著提高了活塞的使用寿命，减少故障率及降低了使用维护成本。 | ||
| 搜索关键词： | 类金刚石碳膜 大型活塞 制备 高速往返运动 复合 合金过渡层 离子源电离 活塞 低温处理 工件表面 基体表面 耐磨性能 使用寿命 乙炔气体 打底层 故障率 碳原子 减摩 涂覆 磨损 合金 应用 表现 维护 | ||
【主权项】：
1.一种复合类金刚石碳膜，自基体表面底层从内而外依次包括Cr、Ti或Cr和Ti合金打底层，CrC、TiC或CrC和TiC合金过渡层，以及DLC‑1层和DLC‑2层，其特征在于：按原子数百分比计，所述DLC‑1层含有sp3杂化的碳原子数占20～40％，所述DLC‑2层含有sp3杂化的碳原子数占0～15％，所述复合类金刚石碳膜适用于破碎锤活塞表面涂层。
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