[发明专利]干涉位移测量辅助的自相关测量仪

摘要

本发明公开了一种干涉位移测量辅助的自相关测量仪，包括自相关信号光路和红光的矫正光路，其中的可变延迟的反射装置由两个与一个位移元件相连的全反射镜构成；通过自相关信号光路和红光的矫正光路产生自相关信号和红光干涉信号，同步记录后根据红光干涉信号来确定位移元件的位移量，从而矫正自相关信号。红光的矫正光路是：矫正用的红光入射后，45°射到一个半透半反镜上并被分成两束，其中一束依次经过两个全反射镜反射后射向另一个半透半反镜，另一束依次经过两外两个全反射镜反射后射向该半透半反镜；两束光在该半透半反镜上重新合成，随后射入光电二极管，从而产生红光干涉信号。本发明可以矫正自相关信号，精确的测量位移元件的形变。

主权项

1.一种干涉位移测量辅助的自相关测量仪，所用光学器件包括一个可变延迟的反射装置、两个固定的全反射镜、两个半透半反镜、一个双光子二极管和一个光电二极管，所述可变延迟的反射装置由第一全反射镜(1)和第二全反射镜(2)构成，两个固定的全反射镜分别记为第三全反射镜(3)和第四全反射镜(4)，两个半透半反镜分别记为第一半透半反镜(5)和第二半透半反镜(6)，其特征在于：所述可变延迟的反射装置与一个位移元件相连，同时入射脉冲信号和矫正用的红光，通过自相关信号光路和红光的矫正光路，产生自相关信号和红光干涉信号，同步记录(9)后，根据红光干涉信号来确定所述位移元件的位移量，从而矫正自相关信号；所述自相关信号光路是：入射的脉冲信号光入射后，45°射到所述第一半透半反镜(5)的A点上并分成两束，其中一束依次经过第一全反射镜(1)和第二全反射镜(2)的反射后射向第二半透半反镜(6)的B点，另一束依次经过第三全反射镜(3)和第四全反射镜(4)反射后射向所述第二半透半反镜(6)的B点；两束光在所述第二半透半反镜(6)的B点重新合成，随后射入所述双光子二极管(7)，从而产生自相关信号；所述红光的矫正光路是：矫正用的红光入射后，45°射到第二半透半反镜(6)的B点上并被分成两束，其中一束依次经过第二全反射镜(2)和第一全反射镜(1)的反射后射向第一半透半反镜(5)的A点，另一束依次经过第四全反射镜(4)和第三全反射镜(3)的反射后射向第一半透半反镜(5)的A点；两束光在第一半透半反镜(5)的A点重新合成，随后射入所述光电二极管(8)，从而产生红光干涉信号； 之后自相关信号同红光干涉信号同步记录，用于位移的矫正。