[发明专利]表面镀有红外类金刚石防护膜的硫系玻璃及其制备方法

摘要

本发明是关于一种表面镀有红外类金刚石防护膜的硫系玻璃及其制备方法，其制备方法包括：1)清洗硫系玻璃基片，抽真空；2)利用磁控溅射法在所述的硫系玻璃基片上镀制类金刚石膜。本发明的制备方法在类金刚石膜沉积过程中把温度控制在硫系玻璃转变温度以下，不显著改变硫系玻璃加工面形，不发生褶皱和非镀膜面烧蚀现象，且无需过渡层，膜基附着性能好，所镀红外类金刚石膜能显著提高硫系玻璃的透过率和物理防护性能。

主权项

1.一种表面镀有红外类金刚石防护膜的硫系玻璃，其特征在于，其包括：硫系玻璃基片；类金刚石膜层，附着在所述的硫系玻璃基片的一侧；底膜层，附着在所述的硫系玻璃基片的另一侧，为增透膜，其包括120 nm的YbF₃、801 nm的ZnS、1082 nm的YbF₃、147 nm的ZnS；其中，所述表面镀有红外类金刚石防护膜的硫系玻璃主要由以下制备方法制得：1）清洗硫系玻璃基片，抽真空；2）利用磁控溅射法在所述的硫系玻璃基片上镀制类金刚石膜；所述的步骤2）包括：抽真空至3×10^‑3 Pa以下，通入工作气体，采用间隙式镀膜方式镀制类金刚石膜，镀膜温度低于所述硫系玻璃基片的转变温度；靶材为高纯石墨靶；工作压强为0.1‑10Pa，沉积功率为10‑5000W，靶基距为2‑50cm；3）采用电子束蒸发法在所述的硫系玻璃基片的另一侧镀制增透膜。