[发明专利]一种TiSiN/CNx纳米多层涂层及其制备方法在审
| 申请号： | 201710304150.5 | 申请日： | 2017-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN107177845A | 公开（公告）日： | 2017-09-19 |
| 发明（设计）人： | 李伟;刘京京;刘平;张柯;马凤仓;刘新宽;陈小红;何代华 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学 |
| 主分类号： | C23C28/04 | 分类号： | C23C28/04;C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司31001 | 代理人： | 吴宝根 |
| 地址： | 200093 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种TiSiN/CNx纳米多层涂层，由至少一个TiSiN层和至少一个CNx层构成，TiSiN层和CNx层交替沉积在基体上。本发明还提供了上述涂层的制备方法，首先将经抛光处理后的基体送入超声波清洗机超声清洗；然后进行离子清洗；离子清洗后将基体置入多靶磁控溅射仪并交替停留在TiSi复合靶和石墨靶之前，通过溅射获得由TiSiN层和CNx层交替叠加的纳米尺度涂层。该TiSiN/CNx纳米多层涂层的硬度为33.5~44.0GPa，与GCr15钢球的摩擦系数为0.23~0.35，可用于干式、高速切削加工刀具以及对耐摩擦性能要求较高的部件表面，从而提高刀具及部件表面性能和使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 tisin cnx 纳米 多层 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种TiSiN/CNx纳米多层涂层，其特征在于：由至少一个TiSiN层和至少一个CNx层构成，所述的TiSiN层和CNx层交替沉积在基体上，所述基体为金属、硬质合金或陶瓷。
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