[发明专利]高速钢丝锥表面涂层制备方法有效
| 申请号： | 201710304392.4 | 申请日： | 2017-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN107034438B | 公开（公告）日： | 2019-05-31 |
| 发明（设计）人： | 赵海波;刘亚;鲜广;梁红樱;但秦 | 申请（专利权）人： | 成都真锐科技涂层技术有限公司;成都天科精密制造有限责任公司;四川大学 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/35;C23C14/06;C23C14/16 |
| 代理公司： | 成都虹桥专利事务所(普通合伙) 51124 | 代理人： | 罗贵飞;梁鑫 |
| 地址： | 610052 四川省成都市成华区东*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高速钢丝锥表面涂层制备方法，属于纳米涂层技术领域，该方法在镀膜时，采用了阴极电弧法与磁控溅射法相结合的方式；在N2气氛下，用阴极电弧法蒸发Ti元素，同时用磁控溅射法溅射C元素，在高速钢丝锥表面镀制得到TiN/C层。本发明方法相比于现有常规方法，维持了低的生产成本，避免污染环境，并且能够提高高速钢丝锥的综合性能。 | ||
| 搜索关键词： | 高速钢丝锥 磁控溅射法 阴极电弧法 表面涂层 制备 纳米涂层技术 避免污染 综合性能 表面镀 镀膜 溅射 生产成本 蒸发 | ||
【主权项】：
1.高速钢丝锥表面涂层制备方法，其特征在于：镀膜时，采用了阴极电弧法与磁控溅射法相结合的方式；在N2气氛下，用阴极电弧法蒸发Ti元素，同时用磁控溅射法溅射C元素，在高速钢丝锥表面镀制TiN/C层，其C成分质量含量控制在5％以内；在镀制TiN/C层时，只是在N2气氛下，不通入Ar气；包括如下步骤：a、镀膜前准备工序；b、镀膜；(1)镀制Ti层；(2)镀制TiN层；(3)镀制TiN/C层；开启4个CAE源，控制氮气流量1000Sccm、偏压80V、弧靶电流80～100A；同时开启2个MS源，控制溅射电流1～3A。
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