[发明专利]一种表面清洁装置、温控台系统及表面清洁方法有效
| 申请号： | 201710304972.3 | 申请日： | 2017-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN106903116B | 公开（公告）日： | 2019-07-16 |
| 发明（设计）人： | 孙全龙;李志宾;丁秀娟;郑云蛟;林发庆;曹振洋;韩俊 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B15/04;B08B13/00;H05F3/04 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 莎日娜 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种表面清洁装置、温控台系统及表面清洁方法。该装置包括：可沿温控台的表面移动的支架，连接在所述支架上的喷头，以及向所述喷头输送气体的气体输入单元；所述喷头设置在所述温控台上方，所述喷头包括相对设置的第一表面和第二表面，所述喷头的第一表面上设置至少一个第一出风口；所述喷头的第二表面上设置至少一个第二出风口；所述第一出风口沿喷头移动方向向所述温控台的表面出风；所述第二出风口沿喷头移动方向向基板的表面出风。本发明实施例通过在喷头的第一表面上设置第一出风口，在喷头的第二表面上设置第二出风口，可同时去除温控台和基板的整个表面上的颗粒物，以便提高产线稼动率以及产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 喷头 出风口 温控 第二表面 第一表面 表面清洁装置 表面清洁 喷头移动 台系统 出风 基板 支架 气体输入单元 表面移动 产品良率 喷头设置 输送气体 相对设置 整个表面 稼动率 颗粒物 产线 去除 | ||
【主权项】：
1.一种表面清洁装置，其特征在于，包括：可沿温控台的表面移动的支架，连接在所述支架上的喷头，以及向所述喷头输送气体的气体输入单元；所述喷头设置在所述温控台上方，所述喷头包括相对设置的第一表面和第二表面，所述喷头的第一表面上设置至少一个第一出风口；所述喷头的第二表面上设置至少一个第二出风口；所述第一出风口沿喷头移动方向向所述温控台的表面出风；所述第二出风口沿喷头移动方向向基板的表面出风；所述第一出风口与所述喷头的第一表面的自由端之间隔有第一距离，所述喷头的第一表面的自由端为与所述喷头的移动方向同向的一端；所述第二出风口与所述喷头的第二表面的自由端之间隔有第二距离，所述喷头的第二表面的自由端为与所述喷头的移动方向同向的一端。
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