[发明专利]丝状样品与片状样品混合磁控溅射镀膜设备

摘要

本发明公开一种丝状样品与片状样品混合磁控溅射镀膜设备，该设备包括第一组驱动组件和第二驱动组件，实现丝状样品、片状样品公转和自转。每一组驱动组件都以驱动盘和齿轮为传动件，实现样品的两种运动：某一轴为中心的公转、以各自的轴为中心的自转。公转可以实现样品向镀膜磁控溅射靶靠近，自转可使样品在尽可能少的溅射靶的情况下完成全面溅射，而且该设备可以同台设置多个丝状样品和片状样品，间隔设置，可以充分利用空间，又互不干涉。

主权项

1.一种丝状样品与片状样品混合磁控溅射镀膜设备，其特征在于：该设备包括第一组驱动组件，所述第一组驱动组件包含上驱动电机、上驱动轴、上驱动盘、下驱动盘，所述上驱动盘与下驱动盘通过连接件连接，所述上驱动电机通过上驱动轴驱动所述上驱动盘和下驱动盘转动；所述上驱动盘、下驱动盘上对应设置穿丝孔，孔中穿接丝状样品，所述丝状样品上设置有驱动小齿轮，所述驱动小齿轮与固定大齿轮啮合；该设备还包括第二组驱动组件，所述第二组驱动组件包括下驱动电机、下驱动轴、大伞齿轮、小伞齿轮、片状样品安装轴；所述下驱动电机通过下驱动轴驱动大伞齿轮旋转，所述大伞齿轮与小伞齿轮啮合，所述小伞齿轮套装在片状样品安装轴上，所述片状样品安装轴安装在所述上驱动盘上，或下驱动盘上，或者上驱动盘与下驱动盘之间的连接件上，随所述上驱动盘和下驱动盘一起旋转；所述片状样品安装轴上安装片状样品。