[发明专利]一种石墨表面碳化硅渗透处理工艺在审
申请号: | 201710306428.2 | 申请日: | 2017-05-04 |
公开(公告)号: | CN107141023A | 公开(公告)日: | 2017-09-08 |
发明(设计)人: | 卢亚春;张华;郑方渊 | 申请(专利权)人: | 上海弘竣实业有限公司 |
主分类号: | C04B41/87 | 分类号: | C04B41/87;C03B11/06 |
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地址: | 201708 上海市青浦区华*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种石墨表面碳化硅渗透处理工艺,包括以下步骤1)将机械加工后的石墨模具采用离子水超声波清洗一段时间;2)将清洗后的石墨模具工件淋干,并放入真空箱烘干;3)将烘干后的石墨模具自然冷却至室温;4)将石墨模具放入温度为80℃的渗炉密封脱气15分钟,吸入足量含碳化硅微粉混合液继续脱气60分钟,将炉内压力调至压力,保压、保温一段时间;5)出炉清除石墨模具表面残留液;6)将石墨模具放入烧结炉内,并持续充入氮气保护,烧结炉的初始温度升至80℃,然后以每半小时20℃的速度升温至500℃,再以每升温100℃保温2小时到达900℃,结束加热,温度降低至200℃后关闭氮气;本发明能够有效的提高石墨模具的使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 一种 石墨 表面 碳化硅 渗透 处理 工艺 | ||
【主权项】:
一种石墨表面碳化硅渗透处理工艺,其特征在于,包括以下步骤:步骤一:将机械加工后的石墨模具采用离子水超声波清洗一段时间;步骤二:将清洗后的石墨模具工件淋干,并放入真空箱烘干;步骤三:将烘干后的石墨模具自然冷却至室温;步骤四:将石墨模具放入温度为80℃的渗炉密封脱气15分钟,吸入足量含碳化硅微粉混合液继续脱气60分钟,将炉内压力调至压力,保压、保温一段时间;步骤五:出炉清除石墨模具表面残留液;步骤六:将石墨模具放入烧结炉内,并持续充入保护气体保护,烧结炉的初始温度升至80℃,然后以每半小时20℃的速度升温至500℃,再以每升温100℃保温2小时到达900℃,结束加热,温度降低至200℃后关闭保护气体,然后冷却至室温。
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