[发明专利]金属过滤器在审
申请号: | 201710306891.7 | 申请日: | 2012-10-09 |
公开(公告)号: | CN107296991A | 公开(公告)日: | 2017-10-27 |
发明(设计)人: | 铃木崇裕;上原寿茂;菊原得仁;铃木恭介 | 申请(专利权)人: | 日立化成株式会社 |
主分类号: | A61M1/36 | 分类号: | A61M1/36;B01D29/01;C25D1/00;C25D1/08 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司72002 | 代理人: | 陈建全 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种癌细胞富集用金属过滤器,其具有多个贯通孔,所述贯通孔的开口形状为长方形或圆角长方形,其中,所述长方形或圆角长方形的短边的长度为5~15μm,所述贯通孔的平均开口率为0.1~50%,所述金属过滤器的厚度为3~50μm。还提供上述金属过滤器的制造方法,其包含下述工序层叠工序;曝光工序;显影工序;镀覆工序,该工序是对形成了抗蚀图案的铜基板进行金属镀覆而形成镀层;溶解工序,该工序是通过化学溶解而除去铜基板,从而得到由镀层和感光性树脂组合物的固化物构成的结构物;以及剥离工序,该工序是从结构物中除去感光性树脂组合物的固化物,从而得到镀层,其中,镀层是金属过滤器。 | ||
搜索关键词: | 金属 过滤器 | ||
【主权项】:
一种癌细胞富集用金属过滤器,其具有多个贯通孔,所述贯通孔的开口形状为长方形或圆角长方形,其中,所述长方形或圆角长方形的短边的长度为5~15μm,所述贯通孔的平均开口率为0.1~50%,所述金属过滤器的厚度为3~50μm。
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