[发明专利]阵列基板及其制作方法、显示面板

摘要

本申请公开了一种阵列基板及其制作方法、显示面板，该制作方法包括：在衬底的一侧表面形成多个薄膜晶体管；在各薄膜晶体管上覆盖平坦化材料层，利用第一半色调掩膜板曝光显影形成平坦化层，平坦化层形成有多个贯穿该平坦化层的通孔，各通孔暴露薄膜晶体管，平坦化层还形成有台阶状第一凸起，且第一凸起向衬底的表面的正投影呈网格状；在平坦化层上覆盖电极材料层，利用第二掩膜板曝光显影形成多个第一电极，每个第一电极通过通孔与暴露出的薄膜晶体管电连接，且每个第一电极向衬底的表面的正投影位于各网格内。上述制作方法制作的第一凸起有助于将相邻的第一电极完全分离，避免了相邻第一电极存在刻蚀残留的问题，提高了阵列基板的成品率。

主权项

一种阵列基板的制作方法，其特征在于，包括：在衬底的一侧表面形成多个薄膜晶体管；在各所述薄膜晶体管上覆盖平坦化材料层，利用第一半色调掩膜板曝光显影形成平坦化层，其中，所述平坦化层形成有多个贯穿该平坦化层的通孔，各所述通孔暴露所述薄膜晶体管，所述平坦化层还形成有台阶状第一凸起，且所述第一凸起向所述衬底的表面的正投影呈网格状；在所述平坦化层上覆盖电极材料层，利用第二掩膜板曝光显影形成多个第一电极，其中，每个所述第一电极通过所述通孔与暴露出的所述薄膜晶体管电连接，且每个所述第一电极向所述衬底的表面的正投影位于各所述网格内。