[发明专利]离散多阳极钟罩式离子氮化炉

摘要

本发明公开了一种离散多阳极钟罩式离子氮化炉，包括钟罩式炉体和离子脉冲电源；钟罩式炉体由炉体底座、炉筒、炉罩、通过绝缘支座设置在炉体底部的阴极盘组成；炉体由炉罩和多节炉筒组合构成；炉罩和每节炉筒的炉壁自外向内依次由水冷夹层结构的外壁、内壁、隔热屏和辉光放电阳极组成；炉罩和每节炉筒的辉光放电阳极相互独立，各个辉光放电阳极分别与离子脉冲电源对应的一个正极输出端连接，炉体阴极与离子脉冲电源的负极输出端连接，炉罩和每节炉筒的所述外壁电气接地；炉罩和每节炉筒的炉壁上均设置有热电偶。本发明优点在于有效地改善了长轴类零件离子氮化过程中的温度均匀性，保证了长轴类零件离子氮化的质量。

主权项

一种离散多阳极钟罩式离子氮化炉，包括设有进气口和出气口的钟罩式炉体和离子脉冲电源；所述钟罩式炉体由炉体底座、设置在所述炉体底座上的炉筒、炉罩、通过绝缘支座设置在所述炉体底部的阴极盘组成；其特征在于：所述炉体由炉罩和多节炉筒组合构成；所述炉罩和每节炉筒的炉壁自外向内依次由水冷夹层结构的外壁、内壁、隔热屏和辉光放电阳极组成；炉罩和每节炉筒的所述辉光放电阳极相互独立，各个辉光放电阳极分别与所述离子脉冲电源对应的一个正极输出端连接，所述炉体阴极与离子脉冲电源的负极输出端连接，炉罩和每节炉筒的所述外壁电气接地；炉罩和每节炉筒的炉壁上均设置有热电偶。