[发明专利]基于电压探针和电流探针的离子回旋天线阻抗测量系统

摘要

本发明公开了一种基于电压探针和电流探针的离子回旋天线阻抗测量系统，包括同轴传输线、电压探针、电流探针、两个功分器、两个检波器、鉴相器，同轴传输线用于传输高功率离子回旋射频波；电压探针耦合出传输线中的电场，测量传输线电压；电流探针耦合出传输线中的磁场，测量传输线电流；功分器将电压探针和电流探针信号等幅值，等相位分配为两路；检波器检测电压探针和电流探针射频信号的峰峰值，结果以直流信号输出；鉴相器检测电压探针和电流探针信号之间相位差，结果以直流信号输出。本发明通过对传输线电压、传输线电流以及电压电流之间相位差的测量，结合公式可求得离子回旋天线阻抗，为相关研究提供必要手段。

主权项

一种基于电压探针和电流探针的离子回旋天线阻抗测量系统，其特征在于：包括有同轴传输线、电压探针、电流探针、功分器一、功分器二、检波器一、检波器二、鉴相器，所述电压探针、电流探针分别安装在同轴传输线上，电压探针同时与功分器一的输入信号端口连接，功分器一的两个输出信号端口分别与检波器一的输入信号端口、鉴相器的一个输入信号端口连接，电流探针同时与功分器二的输入信号端口连接，功分器二的两个输出信号端口分别与检波器二的输入信号端口、鉴相器的另一个输入信号端口连接，检波器一、二和鉴相器的输出信号端口接入数据采集与处理模块；所述同轴传输线用于传输高功率射频波，电压探针用于耦合出同轴传输线内的电场信号，电流探针用于耦合出同轴传输线内的磁场信号，功分器一、二用于将电压探针信号和电流探针信号功率等分为二路，检波器一、二用于将电压探针信号与电流探针信号经过功分器一、二功率分配后的射频信号整流为直流信号，鉴相器用于将电压探针信号与电流探针信号经过功分器一、二功率分配后的信号鉴相并以直流信号输出，三路直流信号经数据采集与处理模块处理后得到天线阻抗。