[发明专利]一种气体的处理方法与气体处理装置在审
| 申请号： | 201710311823.X | 申请日： | 2017-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN107224856A | 公开（公告）日： | 2017-10-03 |
| 发明（设计）人： | 李大青;陈翠敏 | 申请（专利权）人： | 青净光能科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/76 | 分类号： | B01D53/76;B01D53/56 |
| 代理公司： | 北京德高行远知识产权代理有限公司11549 | 代理人： | 杨瑞,王健鹏 |
| 地址： | 中国台湾桃园市龙潭*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种气体的处理方法，所述气体中至少含有一氧化二氮(N2O)，所述气体的处理方法包含输送所述气体至第一腔室内，提供第一能量于所述第一腔室内，使所述气体形成具有激发态的游离气体，其中所述游离气体至少包含一氧化氮(NO)及氮原子(N)；提供臭氧(O3)至第二腔室内，所述第二腔室具有第二能量，使所述臭氧形成具有激发态的氧原子(O)；分别输送所述第一腔室内的所述激发态的游离气体与所述第二腔室内的所述激发态的氧原子于第三腔室内进行反应，使所述第三腔室中的气体至少含有二氧化氮(NO2)；将所述第三腔室的气体输送至一第四腔室，所述第四腔室具有洗涤系统，所述洗涤系统至少含有可溶解所述二氧化氮(NO2)的溶剂。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气体 处理 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种气体的处理方法，所述气体中至少含有一氧化二氮(N2O)，所述气体的处理方法，其特征在于包含下列步骤：输送所述气体至第一腔室内，提供第一能量于所述第一腔室内，使所述气体形成具有激发态的游离气体，其中所述游离气体至少包含一氧化氮(NO)及氮原子(N)；提供臭氧(O3)至第二腔室内，所述第二腔室具有第二能量，使所述臭氧形成具有激发态的氧原子(O)；分别输送所述第一腔室内的所述激发态的游离气体与所述第二腔室内的所述激发态的氧原子于第三腔室内进行反应，使所述第三腔室中的气体至少含有二氧化氮(NO2)；将所述第三腔室的气体输送至一第四腔室，所述第四腔室具有洗涤系统，所述洗涤系统至少含有可溶解所述二氧化氮(NO2)的溶剂。
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