[发明专利]偏振同步相移干涉仪

摘要

一种偏振同步相移干涉仪，包括偏振干涉仪和同步相移模块；同步相移模块包括非偏振分束器，第一检偏器阵列，第二检偏器阵列或检偏器，第一光电探测器阵列和第二光电探测器阵列。本发明采用2个光电探测器阵列实现3个以上相移量干涉图的同步探测，具有光电探测器阵列坐标关系标定难度低，光路简单，检偏器阵列复杂性降低，检测空间分辨率高的优点。

主权项

1.一种偏振同步相移干涉仪，包括偏振干涉仪(1)和同步相移模块(2)，所述的偏振干涉仪中包含被测件(1‑1)；其特征在于，所述的偏振干涉仪(1)出射偏振方向相互正交的参考光和测量光，所述的参考光和测量光的偏振态是线偏振光或圆偏振光；所述的偏振干涉仪(1)出射的参考光和测量光进入同步相移模块(2)；所述的同步相移模块(2)包括非偏振分束器(2‑1)，第一检偏器阵列(2‑3a)，第二检偏器阵列(2‑3b)或检偏器(2‑4)，以及第一光电探测器阵列(2‑5a)和第二光电探测器阵列(2‑5b)；当所述的偏振干涉仪(1)出射线偏振光时，所述的同步相移模块(2)还包括至少一个1/4波片(2‑2)，所述的1/4波片(2‑2)的快轴方向与入射至1/4波片(2‑2)的线偏振光偏振方向的夹角为45度；所述的第一检偏器阵列(2‑3a)和第二检偏器阵列(2‑3b)分别由2种或2种以上不同检偏方向的多个微检偏器组成，每个微检偏器与所述的第一光电探测器阵列(2‑5a)或第二光电探测器阵列(2‑5b)的一个像素或一列像素对齐，每个微检偏器透过光由第一光电探测器阵列(2‑5a)或第二光电探测器阵列(2‑5b)的一个像素或一列像素完全接收；所述的同步相移模块(2)中第一检偏器阵列(2‑3a)和第二检偏器阵列(2‑3b)中微检偏器的检偏方向的排布，或第一检偏器阵列(2‑3a)中微检偏器和检偏器(2‑4)的检偏方向的排布，满足条件：第一光电探测器阵列(2‑5a)和第二光电探测器阵列(2‑5b)探测偏振干涉仪(1)出射光束同一位置的像素位置，及其相邻像素位置，共有3种或3种以上不同的检偏方向；所述的第一检偏器阵列(2‑3a)，或第二检偏器阵列(2‑3b),或检偏器(2‑4)的入射光为线偏振光时，其检偏方向与其入射线偏振光的偏振方向不同；所述的同步相移模块(2)各组成部分的位置与连接关系是：所述的偏振干涉仪(1)出射的参考光和测量光进入非偏振分束器(2‑1)，该非偏振分束器(2‑1)将入射光分为第一探测光路和第二探测光路；在第一探测光路，光通过第一检偏器阵列(2‑3a)后，由第一光电探测器阵列(2‑5a)接收；在第二探测光路，光通过第二检偏器阵列(2‑3b)或检偏器(2‑4)后，由第二光电探测器阵列(2‑5b)接收；当所述的偏振干涉仪(1)出射线偏振光时，沿光束传播方向，所述的1/4波片(2‑2)位于非偏振分束器(2‑1)之前，或位于非偏振分束器(2‑1)之后且第一检偏器阵列(2‑3a)、第二检偏器阵列(2‑3b)或检偏器(2‑4)之前。