[发明专利]一种用于粘接晶棒的全自动粘棒机组有效
| 申请号： | 201710312956.9 | 申请日： | 2017-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN106995140B | 公开（公告）日： | 2023-02-28 |
| 发明（设计）人： | 靳立辉;张学强;王国瑞;崔振强;陈志达;姚长娟;渠丽岩;杨海亮;杨明;丁吉祥;张华帅;赵晓光;尹擎 | 申请（专利权）人： | 天津中环半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/90 | 分类号： | B65G47/90;B28D7/00;B28D5/00;C30B33/06;H01L31/18 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 李纳 |
| 地址： | 300384 天津市滨海新区高新区*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明创造提供了一种用于粘接晶棒的全自动粘棒机组，包括料座上料机构及晶棒上料机构，用于抓取料座上料机构提供的料座的拆分机械手、两端分别与拆分机械手及晶棒上料机构对接的治具回流线、粘棒机、滑动轨道设于粘棒机进料端上方和晶棒上料机构上方的桁架机械手、进料端与粘棒机出料端对应，出料端位于拆分机械手下方的预固化流水线及进料端与拆分机械手对接的数字固化库。本发明创造所述的粘棒机组实现了粘棒工序的自动化、少人化，降低了工人劳动强度的同时生产效率有了极大的提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 粘接晶棒 全自动 机组 | ||
【主权项】：
一种用于粘接晶棒的全自动粘棒机组，其特征在于：包括料座上料机构(1)、拆分机械手(2)、治具回流线(3)、晶棒上料机构(4)、桁架机械手(5)、粘棒机(6)、预固化流水线(7)及数字固化库(8)；所述拆分机械手(2)位于所述料座上料机构(1)的上方，所述治具回流线(3)的两端分别与所述拆分机械手(2)和所述晶棒上料机构(4)对接，所述治具回流线(3)上设有治具(31)，所述桁架机械手(5)包括抓取机械手和滑动轨道，所述滑动轨道设于所述粘棒机(6)进料端的上方，且所述滑动轨道的一端位于所述晶棒上料机构(4)的上方；所述预固化流水线(7)的进料端与所述粘棒机(6)出料端对应，所述预固化流水线(7)的出料端位于所述拆分机械手(2)的下方；所述数字固化库(8)的进料端与所述拆分机械手(2)对接。
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