[发明专利]一种化学气相沉积镀制金刚石膜的方法

摘要

本发明涉及金刚石膜制备技术领域，具体涉及一种化学气相沉积镀制金刚石膜的方法，包括如下步骤：辅助步骤，所述辅助步骤包括：第一步，打开辅助腔体(5)的电动阀门(6)；第二步，工控系统控制喷枪(9)向试样(3)方向移动，并使喷枪(9)的出口对准试样(3)的异质颗粒物，挡板(32)将电极(2)遮挡；第三步，工控系统打开流量控制阀(24)，使气瓶(26)中储存的惰性气体通过喷枪(9)的出口将异质颗粒物吹离衬底试样(3)表面。该方法在镀制金刚石膜的过程中，当观察到衬底试样表面出现异质颗粒物时，可以及时将异质颗粒物从衬底试样表面清除。

主权项

一种化学气相沉积镀制金刚石膜的方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1：将试样(3)放到超声波中清洗；步骤2：将清洗后的试样(3)放到真空干燥箱中干燥；步骤3：在干燥后的试样(3)上镀制Si薄膜层，得到镀有Si薄膜层的试样(3)；步骤4：将步骤3中的试样(3)放到超声波中清洗；步骤5：将步骤4中清洗后的试样(3)放到真空干燥箱中干燥；步骤6：将步骤5中干燥后的试样(3)放入化学气相沉积镀制金刚石膜的设备，根据预设参数，启动化学气相沉积镀制金刚石膜的设备并开始镀制金刚石膜；镀制过程中，观察试样(3)表面，若试样(3)表面发现异质颗粒物时，进入辅助步骤，所述辅助步骤包括：第一步，打开辅助腔体(5)的电动阀门(6)；第二步，工控系统控制喷枪(9)向试样(3)方向移动，并使喷枪(9)的出口对准试样(3)的异质颗粒物，挡板(32)将电极(2)遮挡；第三步，工控系统打开流量控制阀(24)，使气瓶(26)中储存的惰性气体通过喷枪(9)的出口将异质颗粒物吹离试样(3)表面；第四步，复位，辅助步骤结束，化学气相沉积镀制金刚石膜的设备根据预设参数继续镀制金刚石膜；若试样(3)表面未发现异形颗粒物，按所述预设参数镀膜；步骤7：镀制金刚石膜完成，关闭设备。