[发明专利]显微扫描自动对焦补偿系统及补偿方法在审
| 申请号： | 201710316829.6 | 申请日： | 2017-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN106997093A | 公开（公告）日： | 2017-08-01 |
| 发明（设计）人： | 张辉 | 申请（专利权）人： | 南京东利来光电实业有限责任公司 |
| 主分类号： | G02B21/00 | 分类号： | G02B21/00 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)11350 | 代理人： | 王清义 |
| 地址： | 211132 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本技术提供一种能够缩短对焦时间、提高显微扫描效率的显微扫描自动对焦补偿系统和方法。该对焦补偿系统，包括载物台，物镜，快速对焦模块和用于实时检测载物台位置的位置检测装置；快速对焦模块包括能够在z轴方向上伸长或缩短的z轴补偿压电陶瓷、向z轴补偿压电陶瓷供电的z轴补偿电压模块；物镜的上端连接z轴补偿压电陶瓷；位置检测装置的输出接控制器，控制器接z轴补偿电压模块。该对焦补偿方法，是先测定出载物台上任一点a(x，y)到物镜的焦平面的距离t；在使用时，通过控制器控制z轴补偿压电陶瓷的外电场电压，使得物镜在z轴补偿压电陶瓷的带动下沿z轴移动，使焦平面和任一点a(x，y)重合，实现焦点z轴偏差的自动快速补偿。 | ||
| 搜索关键词： | 显微 扫描 自动 对焦 补偿 系统 方法 | ||
【主权项】：
显微扫描自动对焦补偿系统，包括可以在水平面沿x轴方向和y轴方向的载物台，在载物台的上方设置有用于对载物台上物品成像的物镜，其特征是：它还包括一个快速对焦模块和用于实时检测载物台在x轴和y轴位置的位置检测装置；所述快速对焦模块包括焦点z轴偏差补偿模块，所述焦点z轴偏差补偿模块为具有逆压电效应的能够在z轴方向上伸长或缩短的z轴补偿压电陶瓷、用于向z轴补偿压电陶瓷供电以改变z轴补偿压电陶瓷外电场电压的z轴补偿电压模块；物镜的上端连接z轴补偿压电陶瓷，z轴补偿压电陶瓷上端连接在支架上；位置检测装置的输出接控制器，控制器的输出接z轴补偿电压模块。
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