[发明专利]一种直驱射频电源

摘要

一种直驱射频电源，包括依次连接的信号源、电压调理电路和三个并行的高压放大电路，信号源提供两路相互独立且幅度、频率与相位均可调的5V以内低压正弦波信号RF和AC；电压调理电路接收RF和AC并进行处理以得到RF‑’信号、RF+AC+耦合信号以及RF+AC‑耦合信号三路信号并分别输出至三个高压放大电路进行处理，得到双边差分输出电压1000V以内可调且频率900kHz以内可调的三路高压信号，可供给负载使用。其中高压放大电路由分立元件建立，包括依次连接的差分校正电路、驱动升压电路、功率放大电路以及连接于差分校正电路的输入端和功率放大电路的输出端之间的反馈电路。本发明具有成本低、输出电压高、频率可调且频带宽的优点。

主权项

1.一种直驱射频电源，包括：信号源，提供两路相互独立且幅度、频率与相位均可调的5V以内低压正弦波信号，分别作为RF信号和AC信号；电压调理电路，连接于所述信号源，通过两个输入端口分别接收RF信号和AC信号，并分别进行差分输出以获得RF+、RF‑、AC+和AC‑四路信号，然后对所述四路信号进行以下处理：将RF‑信号经一反相放大器输出得到RF+’信号、将RF+信号与AC‑信号通过反相加法器进行相加得到RF‑AC+耦合信号以及将RF+信号与AC+信号通过反相加法器相加得到RF‑AC‑耦合信号，通过三个输出端口分别将RF+’信号、RF‑AC+耦合信号以及RF‑AC‑耦合信号输出；或者对所述四路信号进行以下处理：将RF+信号经一反相放大器输出得到RF‑’信号、将RF‑信号与AC+信号通过反相加法器进行相加得到RF+AC‑耦合信号以及将RF‑与AC‑信号通过反相加法器相加得到RF+AC+耦合信号，通过三个输出端口分别将RF‑’信号、RF+AC+耦合信号以及RF+AC‑耦合信号输出；三个高压放大电路，各高压放大电路包括依次连接的差分校正电路、驱动升压电路、功率放大电路以及连接于差分校正电路的输入端和功率放大电路的输出端之间的反馈电路；三个高压放大电路分别连接到所述电压调理电路的所述三个输出端口，以对电压调理电路的输出进行以下处理：先通过差分校正电路将电压调理电路的输出与反馈电路的反馈信号进行差分比较，比较后的输出再经驱动升压电路升压形成双边差分输出电压1000V以内可调且频率900kHz以内可调的高压信号，所述高压信号再经功率放大电路进行电流放大后输出。