[发明专利]一种涂布机管路的清洁方法及清洁装置

摘要

本发明提供一种涂布机管路的清洁方法及清洁装置，所述方法包括：通过使用光阻溶剂对待清洁管路进行清洗；待所述光阻溶剂清洗完毕后，使用清洗剂与惰性气体合成后的第一二流体对待清洁管路进行清洗；待所述第一二流体清洗完毕后，使用有机溶剂与惰性气体合成后的第二二流体对待清洁管路进行清洗；待所述第二二流体清洗完毕后，使用干燥洁净空气对待清洁管路进行干燥。本发明通过先使用光阻溶剂进行管路清洁，再依次使用清洗剂与惰性气体及有机溶剂与惰性气体合成的气液二流体进行管路清洁，最后使用干燥洁净空气进行管路干燥。加强了清洁的效果，并且避免了光阻溶剂残留，极大的提高了涂布机管路的清洁效率。

主权项

1.一种涂布机管路的清洁装置，其特征在于，包括待清洁管路、向所述待清洁管路提供光阻溶剂的第一清洁管路、向所述待清洁管路提供清洗剂的第二清洁管路、向所述待清洁管路提供惰性气体的第三清洁管路、向所述待清洁管路提供有机溶剂的第四清洁管路及向所述待清洁管路提供干燥洁净空气的第五清洁管路，所述第一清洁管路上设置有第一阀门，所述第二清洁管路上设置有第二阀门，所述第三清洁管路上设置有第一分支及第二分支，所述第一分支上设置有第三阀门，所述第二分支上设置有第四阀门，所述第一分支与所述第二清洁管道合流，所述第二分支与所述第四清洁管道合流，所述第四清洁管路上设置有第五阀门，所述第五清洁管路上设置有第六阀门；其中所述清洁装置包括四种清洁状态，所述四种清洁状态依次执行，当处于第一清洁状态时，通过使用光阻溶剂对待清洁管路进行清洗，当处于第二清洁状态时，使用清洗剂与惰性气体合成后的第一二流体对待清洁管路进行清洗，当处于第三清洁状态时，使用有机溶剂与惰性气体合成后的第二二流体对待清洁管路进行清洗，当处于第四清洁状态时，使用干燥洁净空气对待清洁管路进行干燥。