[发明专利]镀膜装置及其控制方法、衬底保持件、和存储介质有效
| 申请号： | 201710320234.8 | 申请日： | 2017-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN107460445B | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 藤方淳平 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 陈伟;王娟娟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供镀膜装置及其控制方法、衬底保持件、和存储介质。镀膜装置使用具有将衬底的被镀膜面密封的弹性突出部的衬底保持件对衬底进行镀膜，镀膜装置包括：测量装置，其构成为，通过测量所述衬底与所述衬底保持件的所述弹性突出部物理性接触时的、所述弹性突出部的挤压量和施加于所述弹性突出部的载荷的至少一者，来测量所述弹性突出部的变形状态；和控制装置，其构成为，基于所述测量的变形状态，判定所述弹性突出部进行的密封是否正常。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 装置 及其 控制 方法 衬底 保持 存储 介质 | ||
【主权项】：
一种镀膜装置，使用衬底保持件对衬底进行镀膜，所述衬底保持件具有将衬底的被镀膜面密封的弹性突出部，所述镀膜装置的特征在于，包括：测量装置，其构成为，通过测量所述衬底与所述衬底保持件的所述弹性突出部物理性接触时的、所述弹性突出部的挤压量和施加于所述弹性突出部的载荷的至少一者，来测量所述弹性突出部的变形状态；和控制装置，其构成为，基于所测量的所述变形状态，判定所述弹性突出部进行的密封是否正常。
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