[发明专利]利用飞秒激光微加工系统诱导长磷光光谱的测量方法有效

专利信息
申请号: 201710320235.2 申请日: 2017-05-09
公开(公告)号: CN106970060B 公开(公告)日: 2019-07-16
发明(设计)人: 钱静;赵全忠 申请(专利权)人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
主分类号: G01N21/64 分类号: G01N21/64
代理公司: 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 代理人: 张宁展
地址: 201800 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 一种利用飞秒激光微加工系统诱导长磷光光谱的测量方法,该系统包括飞秒激光微加工装置,显微光谱收集装置及温控装置。本发明利用温度可调的温控部件,调节样品所在环境的温度,使飞秒激光作用的区域同时发光。飞秒激光加工时,使样品温度保持在0℃,样品被加工的区域在0℃下不发光。飞秒激光加工后,使样品温度升至室温或者任意一个设置的温度,此时被激光加工后的区域同时发出明亮的长磷光。用光谱收集装置可精确测量设定的温度下长磷光随时间变化的光谱。然后用作图软件计算出每个时刻对应的光谱积分强度,得到光谱积分强度随时间的衰减图,并作非线性拟合,根据拟合的参数,研究飞秒激光诱导的长磷光的发光机理及发光性能。
搜索关键词: 利用 激光 加工 系统 诱导 磷光 光谱 测量方法
【主权项】:
1.一种利用飞秒激光微加工系统诱导长磷光光谱的测量方法,该飞秒激光微加工系统包括飞秒激光微加工装置、显微光谱收集装置及温控装置;所述的显微光谱收集装置包括第一微透镜、光纤、第二微透镜以及光谱仪,所述的第一微透镜和第二微透镜均设有螺纹接口,通过螺纹接口与光纤的两端相连;所述的温控装置包括容器、固定在该容器内的样品台、蒸馏水以及可调节温度的智能加热棒;所述的飞秒激光微加工装置包括飞秒激光器、反射飞秒激光的二向色镜、聚焦飞秒激光的显微物镜、载物台和反射镜;所述的容器放在载物台上;其特征在于,该方法包括步骤如下:①将样品放置在样品台上,使蒸馏水淹没样品;②启动飞秒激光器,使飞秒激光器出射的飞秒激光经二向色镜反射到显微物镜中,然后经显微物镜聚焦到样品内部,此时调节蒸馏水的水温为0℃,对载物台进行三维移动,实现对样品的精密加工,被激光加工的区域在0℃下不发光;③加工结束后,将水温加热至室温,此时样品被加工的区域发出长磷光,长磷光被显微物镜搜集后,透过二向色镜,被反射镜反射到第一微透镜中,该第一微透镜将长磷光聚焦耦合到光纤中,再通过第二微透镜将长磷光导入到光谱仪的狭缝中,测量出室温下的光谱;④每隔n分钟光谱仪采集一次长磷光光谱,直到光谱不被探测到;⑤用作图软件计算出每个时刻对应的光谱积分强度,得到光谱积分强度随时间衰减图,并作非线性拟合。
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