[发明专利]一种双通AAO模板及其制备方法和应用有效
申请号: | 201710321598.8 | 申请日: | 2017-05-09 |
公开(公告)号: | CN107164795B | 公开(公告)日: | 2019-02-15 |
发明(设计)人: | 周佩珩;陈万里;罗小嘉 | 申请(专利权)人: | 电子科技大学 |
主分类号: | C25D11/12 | 分类号: | C25D11/12;C25D11/18;C25D1/04;C25D1/10;B82Y40/00 |
代理公司: | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人: | 闫树平 |
地址: | 611731 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明属于电化学技术领域,涉及模板‑电化学沉积技术,具体涉及一种双通AAO模板及其制备方法和应用。本发明通过将喷涂金层的铝片A面与铝箔贴合进行塑封,使得铝箔为蒸金的双通AAO模板提供良好的力学支撑和电学接触,应用在电沉积纳米线技术上可直接做为工作电极。本发明制得的双通AAO模板在保证用于电沉积纳米线的均匀性和稳定性的同时,填充率高,可直接做为工作电极应用于电沉积纳米线技术,并且没有现有技术的应用缺陷。 | ||
搜索关键词: | 一种 aao 模板 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】:
1.一种双通AAO模板的制备方法,包括以下步骤:步骤1、选择纯度>99%的铝片,依次经过去清洗和电化学抛光;步骤2、将步骤1抛光后的铝片进行二次阳极氧化;步骤3、将二次阳极氧化完成后的铝片A面喷涂金层,厚度100‑200nm;然后将铝片A面与大于其面积的铝箔贴合,使其被铝箔完全覆盖,再用塑封机对其进行双面塑封,铝片被全部塑封,铝箔未被全部塑封;铝片B面塑封膜上设有孔,使铝片塑封后其B面不被塑封膜完全覆盖,即B面塑封后有一个未被塑封的孔;步骤4、将塑封后铝片B面未被塑封区域的氧化铝层去掉,随后再去掉其铝基底,然后对双通AAO模板进行去阻挡层和扩孔处理,清洗吹干得到双通AAO模板;双通AAO模板承载于铝片,铝片A面喷涂厚度100‑200nm的金层,铝片A面与大于其面积的铝箔贴合,被铝箔完全覆盖,两者被双面塑封,铝片被全部塑封,铝箔未被全部塑封;铝片B面塑封膜上设有孔,使铝片塑封后其B面不被塑封膜完全覆盖,即B面塑封后有一个未被塑封的孔,铝片孔对应区域为双通AAO模板;所述铝片A面为二次阳极氧化过程中正对着电极的面,另一面为B面。
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