[发明专利]纳米物体至束沉积结构的附接

摘要

束诱导沉积分解表面上精确位置处的前体。对所述表面进行处理以将连接基团提供于所述沉积物的所述表面上，并且对样本进行处理以将纳米物体附接至所述连接基团。所述纳米物体用于各种应用。当带电粒子束用于分解前体时，所述带电粒子束可用于形成附接有所述纳米物体的所述表面的图像。

主权项

一种将纳米物体附接至样本基材的方法，所述方法包括：将沉积前体提供于所述基材的表面，所述基材位于带电粒子束设备的真空室内；使束指向所述基材，所述束分解沉积前体以在所述基材的表面上受所述束冲击的位置形成沉积物；处理所述样本以将连接基团提供于所述沉积物的表面上；和处理所述样本以将纳米物体以化学方式键合至所述连接基团。