[发明专利]基板传送装置、基板传送设备及其拆卸方法

摘要

本发明涉及基板传送技术领域，公开了一种基板传送装置、基板传送设备及其拆卸方法。基板传送装置包括多个基板传送单元，每个基板传送单元包括旋转轴，固定轴、套设于旋转轴和固定轴的多个滚轮以及锁定结构，其中：旋转轴设置于多个滚轮的中心，多个滚轮可绕旋转轴转动，且可沿旋转轴的长度方向移动；固定轴包括固定轴本体以及凸出固定轴本体的多个定位凸块，定位凸块与滚轮一一对应设置，固定轴设置于多个滚轮的中心与边缘之间；滚轮具有避让定位凸块的避让位以及与避让位连通的限位槽，定位凸块可在分别转动至与其对应设置的滚轮的避让位后，限位于与避让位连通的限位槽内；锁定结构用于将旋转轴与固定轴保持相对固定。

主权项

1.一种基板传送装置，其特征在于，包括多个基板传送单元，每个基板传送单元包括旋转轴，固定轴、套设于所述旋转轴和固定轴的多个滚轮以及锁定结构，其中：所述旋转轴设置于所述多个滚轮的中心，所述多个滚轮可绕所述旋转轴转动，且可沿所述旋转轴的长度方向移动；所述固定轴包括固定轴本体以及凸出所述固定轴本体的多个定位凸块，所述定位凸块与所述滚轮一一对应设置，所述固定轴设置于所述多个滚轮的中心与边缘之间；所述滚轮具有避让所述定位凸块的避让位以及与所述避让位连通的限位槽，所述定位凸块可在分别转动至与其对应设置的滚轮的避让位后，限位于与所述避让位连通的限位槽内；所述锁定结构用于将所述旋转轴与所述固定轴保持相对固定。