[发明专利]一种基于MEMS工艺的微波驱动微马达

摘要

本发明涉及一种基于MEMS工艺的微波驱动新型微马达，属于微机电系统与电机工程领域，其包括：定子(1)、转子(2)、驱动轴(3)、第一轴承(4)、第二轴承(5)、机壳(6)、微波源(7)及固定结构(8)。固定结构(8)与机壳(6)成一体化结构；转子(2)与驱动轴(3)为一体化结构，由固定结构(8)提供支撑横向固定于机壳(6)中；驱动轴(3)中间部位有一凹槽，定子(1)置于驱动轴(3)的凹槽内，转子(2)与第二轴承(5)相联接。定子(1)与转子(2)均为圆柱形的结构，两者都由PN结环形阵列结构构成，通过微波源(7)调制两者之间的静电力驱动转子(2)产生持续振动。

主权项

1.一种基于MEMS工艺的微波驱动微马达，其包括：定子(1)、转子(2)、驱动轴(3)、第一轴承(4)、第二轴承(5)、机壳(6)、微波源(7)及固定结构(8)，其特征在于：固定结构(8)与机壳(6)成一体化结构；转子(2)与驱动轴(3)为一体化结构，由固定结构(8)提供支撑横向固定于机壳(6)中；驱动轴(3)在中间低凹横轴有一凹槽，定子(1)置于驱动轴(3)的凹槽内，转子(2)与第二轴承(5)相联接；所述的固定结构(8)包括第一固定柱(81)、第二固定柱(82)及第三固定柱(83)，三根固定柱依次竖立于机壳(6)的左端、中间与右端；所述的第一轴承(4)安装在第一固定柱(81)上，第二轴承(5)安装在第三固定柱(83)上，第一轴承(4)与第二轴承(5)与固定结构(8)共同支撑驱动轴(3)与转子(2)的一体化结构；所述的第二固定柱(82)与定子(1)相联接，两者之间的联接为静联接；所述的驱动轴前端为突出的细横轴；中间部位为两圆台通过一横轴对接的形状，两圆台直径较小的端面通过横轴连接，总体呈两边高中间低的形态；后端与转子(2)相联接呈一体化结构；所述的凹槽直径与定子(1)内径相适应；所述的第一轴承(4)与第二轴承(5)均呈中空的环形圆柱体，第一轴承(4)与第二轴承(5)相比半径小；所述的驱动轴(3)前端直径与第一轴承(4)内圈直径一致，穿过第一轴承(4)中空部位与其安装在一起；所述的定子(1)与转子(2)均为圆柱形的结构，两者都由PN结环形阵列结构构成；所述的转子(2)直径与第二轴承(5)内圈直径一致，嵌装在第二轴承(5)的中空部位，两者之间为动联接。