[发明专利]电池片生成热氧化钝化层的方法在审
| 申请号： | 201710327075.4 | 申请日： | 2017-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN107293614A | 公开（公告）日： | 2017-10-24 |
| 发明（设计）人： | 樊华;李慧;陈克;徐建;俞超;徐强 | 申请（专利权）人： | 东方环晟光伏（江苏）有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L31/0216 |
| 代理公司： | 南京天华专利代理有限责任公司32218 | 代理人： | 刘畅,徐冬涛 |
| 地址： | 214203 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电池片生成热氧化钝化层的方法，其特征在于将已经形成P‑N结的硅片放入高温炉中，硅片表面在高温及催化剂作用下与氧化剂进行氧化反应生成一层SiO2膜后再进行常规的后续工序。本发明在传统电池工艺增加一道氧化工序，以形成一层致密性较好SiO2氧化层，能够起到一定钝化的效果，降低表面活性，增加表面的清洁程序，避免由于表面层引入杂质而形成复合中心，以此来降低少数载流子的表面复合速度。进而提高电池片开压，提高电池片效率。 | ||
| 搜索关键词： | 电池 生成 氧化 钝化 方法 | ||
【主权项】：
一种电池片生成热氧化钝化层的方法，其特征在于该方法将已经形成P‑N结的硅片放入高温炉中，硅片表面在高温及催化剂作用下与氧化剂进行氧化反应生成一层SiO2膜后再进行常规的后续工序。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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