[发明专利]一种角速率敏感方向直接耦合的四质量块微机械陀螺

摘要

本发明属于微机械陀螺领域，具体涉及一种角速率敏感方向直接耦合的四质量块微机械陀螺。所述四质量块微机械陀螺，包括四个结构相同的质量块，两个外侧的驱动耦合梁和两组中心耦合梁以及一个检测耦合梁。外侧的驱动耦合梁和两组中心耦合梁将四个质量块的驱动框进行连接，实现驱动方向直接耦合。检测耦合梁将四个质量块的检测框连接，实现角速率敏感方向的直接耦合，四质量块微机械陀螺结构为沿驱动和检测方向全对称分布。该发明可将外界的振动信号分解为沿驱动方向和检测方向的两个分量，而四个质量块的检测框的输出信号通过差分方法，可以将两个分量的影响都进行消除，消除外界振动对微机械陀螺的影响。

主权项

一种角速率敏感方向直接耦合的四质量块微机械陀螺，所述的微机械陀螺包括四个结构相同的质量块(1)、(2)、(3)、(4)，两个驱动耦合梁(5)、(6)和两组中心耦合梁(7)、(8)，其中左上质量块和左下质量块的驱动框(1‑1)和(2‑1)通过左侧的驱动耦合梁(5)连接，右上质量块和右下质量块的驱动框(3‑1)和(4‑1)通过右侧的驱动耦合梁(6)连接，左上质量块和右上质量块的驱动框(1‑1)和(3‑1)通过上部的中心耦合梁(7)连接，左下质量块和右下质量块的驱动框(2‑1)和(4‑1)通过下部的中心耦合梁(8)连接；左侧驱动耦合梁(5)由两端折弯的竖杆(5‑1)和四根弹性梁(5‑2a、5‑2b、5‑2c、5‑2d)组成，右侧驱动耦合梁(6)由两端折弯的竖杆(6‑1)和四根弹性梁(6‑2a、6‑2b、6‑2c、6‑2d)组成，四根弹性梁在竖杆的中点呈圆周均匀分布，竖杆的折弯的两端分别连接两个质量块的驱动框，四根弹性梁与外部锚点连接；每组中心耦合梁(7)、(8)分别由两个上下对称分布的折叠梁(7‑1)和(7‑2)、及折叠梁(8‑1)和(8‑2)组成，每个折叠梁由两组U型梁组合而成。