[发明专利]一种阴极用可视化微波烧结设备有效
| 申请号： | 201710328544.4 | 申请日： | 2017-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN107144130B | 公开（公告）日： | 2019-04-19 |
| 发明（设计）人： | 刘伟;田明创;李俊辉;王金淑 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | F27B14/06 | 分类号： | F27B14/06;F27B14/14 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人： | 刘萍 |
| 地址： | 100124 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种阴极用可视化微波烧结设备属于微波烧结领域，提供了一种钪钨阴极烧结用专用小型微波烧结炉和微波烧结保温装置，主要由微波源、保温装置、不锈钢加热腔体、可视保护气氛空间组成。保温装置包括加厚隔热底座、一层刚玉坩埚、氧化铝纤维棉、二层刚玉坩埚、氧化钨层、三层刚玉坩埚、带孔刚玉盖子。加热腔体通过功率高达3千瓦的微波源直接进行能量转换，将微波能输送到样品中，腔体顶部设有红外测温装置。可视保护气氛空间与真空、气氛控制系统相连，为样品烧结提供精确可控气氛。本发明具有以下优点：烧结过程全程可视，重复性高；高纯氧化钨层对阴极无污染，且能防止微波打火现象；微波场强均匀，实现了阴极均匀烧结。 | ||
| 搜索关键词： | 阴极 保温装置 刚玉坩埚 烧结 可视 微波烧结设备 加热腔体 气氛空间 微波烧结 氧化钨层 可视化 微波源 能量转换 红外测温装置 气氛控制系统 氧化铝纤维棉 加厚 打火现象 隔热底座 可控气氛 腔体顶部 烧结过程 微波场强 小型微波 钪钨阴极 烧结炉 微波能 盖子 不锈钢 带孔 二层 刚玉 高纯 三层 微波 全程 | ||
【主权项】：
1.一种阴极用可视化微波烧结设备，其特征在于：包括可视保护气氛空间(1)、微波烧结炉体(2)、微波源(3)、保温装置(4)；所述微波烧结炉体(2)内置于可视保护气氛空间(1)内；所述可视保护气氛空间(1)设置有进气口(5)和排气口，压力示数表(6)以及真空泵(7)；可视保护气氛空间(1)使用有机玻璃，且两端设置有进气口(5)和排气口；所述微波源(3)安装于所述微波烧结炉体(2)内部，微波烧结炉体顶部设置有红外测温装置(8)，底部设置有旋转托盘(9)，以及变压装置(10)和排风扇(11)；变压装置(10)用于控制微波源(3)；所述旋转托盘(9)与一层刚玉坩埚底座(18)同为带孔圆形，恰好镶嵌；旋转托盘(9)旋转驱动装置为电动马达；所述排风扇(11)安装于变压装置一侧；所述保温装置(4)设置有一层刚玉坩埚(12)、氧化铝纤维棉(13)、刚玉坩埚盖、二层刚玉坩埚(15)、氧化钨层(16)及三层刚玉坩埚(17)；所述二层刚玉坩埚(15)内置于一层刚玉坩埚(12)，三层刚玉坩埚(17)内置于二层刚玉坩埚(15)，一层坩埚底部加装保温底座(18)；氧化铝纤维棉(13)置于一层刚玉坩埚(12)，二层刚玉坩埚(15)之间；氧化钨层(16)置于二层刚玉坩埚(15)，三层刚玉坩埚(17)之间；一层刚玉坩埚(12)、二层刚玉坩埚(15)、三层刚玉坩埚(17)顶部分别设置刚玉坩埚盖；刚玉坩埚盖设置有贯穿其厚度的红外测温孔。
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