[发明专利]一种偏振敏感型非制冷红外探测器及其制备方法有效
| 申请号： | 201710328762.8 | 申请日： | 2017-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN107150995B | 公开（公告）日： | 2019-04-30 |
| 发明（设计）人： | 邱栋;王鹏;陈文礼;王宏臣 | 申请（专利权）人： | 烟台睿创微纳技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/20 | 分类号： | G01J5/20;B81B7/00;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 烟台上禾知识产权代理事务所(普通合伙) 37234 | 代理人： | 刘志毅 |
| 地址： | 264006 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种偏振敏感型非制冷红外探测器，包括第一层悬空结构，所述第一层悬空结构为现有非制冷红外探测器，所述第一层悬空结构上设有第二层悬空结构，所述第二层悬空结构包括光栅支撑层和设置在支所述光栅撑层上的金属光栅结构，能够简化光学系统，提升图像的真实性与有效性；还涉及上述偏振敏感型非制冷红外探测器的制备方法，包括以下步骤：步骤1.在未进行结构释放的现有非制冷红外探测器上制备第二层牺牲层和光栅支撑层；步骤2.制备金属光栅结构；步骤3.结构释放，形成偏振敏感型非制冷红外探测器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 偏振 敏感 制冷 红外探测器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种偏振敏感型非制冷红外探测器，包括第一层悬空结构，其特征在于，所述第一层悬空结构上设有第二层悬空结构，所述第二层悬空结构包括光栅支撑层和设置在所述光栅支撑层上的金属光栅结构；所述光栅支撑层包括第一光栅支撑层和设置在所述第一光栅支撑层上的第二光栅支撑层，所述第一光栅支撑层为氮化硅层，所述第二光栅支撑层为二氧化硅层，且厚度均为0.10～0.30μm；所述金属光栅结构包括若干个依次排列的光栅，相邻所述光栅之间的间隔为10～500nm，所述光栅为弯曲型。
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