[发明专利]一种无铅压电单晶高频超声换能器及其制备方法

摘要

本发明一种无铅压电单晶高频超声换能器及其制备方法，涉及高频超声换能器技术领域。所述高频超声换能器由声匹配层(1)，发声材料(2)，背衬层(3)，金属外壳(4)组成，工作频率为20MHz至300MHz。其中，声匹配层(1)为聚对二甲苯；发声材料(2)为无铅压电单晶高频压电元件；背衬层(3)为导电胶；金属外壳(4)为不锈钢材料。高频超声换能器的制备方法，包括步骤：a.采用高居里温度的无铅压电单晶材料至l.将单晶元件封装在金属外壳内……。特别通过机械减薄‑化学机械减薄‑反应离子刻蚀相结合的减薄方法，将无铅压电单晶材料制成一种高性能无铅单晶元件，并以此元件制备一种换能器，解决了高频与铅污染问题。

主权项

1.一种无铅压电单晶高频超声换能器，其特征在于，由声匹配层(1)，发声材料(2)，背衬层(3)，金属外壳(4)组成；其中，声匹配层(1)为聚对二甲苯；发声材料(2)为(K_0.44Na_0.46)NbO₃‑xmol％Mn无铅压电单晶高频压电元件，其厚度范围为3μm至200μm；背衬层(3)为导电胶，其声阻抗范围为3～7MRayl；金属外壳(4)为不锈钢材料；工作频率为20MHz至300MHz。