[发明专利]一种无线无源声表面波应变传感器

摘要

本发明涉及一种无线无源声表面波应变传感器，包括：声表面波反射型延迟线器件、第一匹配网络、第二匹配网络、参考应变片和感知应变片；其中，声表面波反射型延迟线器件作为无线传感系统的应答器，采用双通道反射器型结构，其中参考通道通过第一匹配网络与参考应变片连接，传感通道通过第二匹配网络与感知应变片连接。本发明采用外接应变片负载式感知应变量，解决了声表面波器件由于直接应变而产生的力温耦合问题，比直接用声表面波器件测量应变更加的稳定可靠。此外，声表面波反射型延迟线器件采用双通道反射器结构通过差分的方法解决在应变测量过程中的温度干扰问题。

主权项

1.一种无线无源声表面波应变传感器，其特征在于，包括：声表面波反射型延迟线器件(15)、第一匹配网络(11)、第二匹配网络(12)、参考应变片(13)和感知应变片(14)；其中，所述声表面波反射型延迟线器件(15)通过第一匹配网络(11)与所述参考应变片(13)连接；所述声表面波反射型延迟线器件(15)通过第二匹配网络(12)与所述感知应变片(14)连接；所述声表面波反射型延迟线器件(15)包括：第一吸声胶(1)、第二吸声胶(2)、压电晶体(3)、叉指换能器(4)和第一至第六双通道反射器(5‑10)；其中，所述第一吸声胶(1)和所述第二吸声胶(2)分别涂覆在所述压电晶体(3)两端；所述叉指换能器(4)和第一至第六双通道反射器(5‑10)利用半导体光刻工艺制作于压电晶体(3)之上；所述第三双通道反射器(7)通过所述匹配网络(11)连接参考应变片(13)；所述第六双通道反射器(10)通过所述匹配网络(12)连接感知应变片(14)；所述第一至第六双通道反射器(5‑10)中的第一至第三双通道反射器(5‑7)构成参考通道；所述第四至第六双通道反射器(8‑10)构成传感通道；所述第一匹配网络(11)与第二匹配网络(12)分别由匹配电感(16)与匹配电容(17)构成的LC电路组成；所述声表面波反射型延迟线器件(15)通过所述LC电路与所述参考应变片(13)连接；所述声表面波反射型延迟线器件(15)通过所述LC电路与所述感知应变片(14)连接。