[发明专利]一种多方向微纳力测量装置及测量方法在审
| 申请号： | 201710330425.2 | 申请日： | 2017-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN107219026A | 公开（公告）日： | 2017-09-29 |
| 发明（设计）人： | 徐立;郑培亮;李倩;李闯;黄振宇;丘卉 | 申请（专利权）人： | 广东省计量科学研究院（华南国家计量测试中心） |
| 主分类号： | G01L1/00 | 分类号： | G01L1/00;G01L5/00;G01L11/00 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司44205 | 代理人： | 胡辉 |
| 地址： | 510405 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多方向微纳力测量装置及测量方法，装置包括加载机构、标准微纳力值发生装置、弹性支撑机构和位置测量装置，所述弹性支撑机构的末端与位置测量装置连接，所述标准微纳力值发生装置和加载机构分别安装在弹性支撑机构的两侧；方法包括获取弹性支撑机构的平衡位置；通过加载机构为弹性支撑机构施加被测微纳力值，使弹性支撑机构偏离平衡位置；调整标准微纳力值发生装置的静电力大小，使得弹性支撑机构从偏离平衡位置恢复平衡位置；根据恢复平衡位置时标准微纳力值发生装置的静电力大小计算被测微纳力值。本发明与微纳力值的测量方向无关，能进行空间任意方向的微纳力测量，可广泛应用于力测量领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多方 微纳力 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
一种多方向微纳力测量装置，其特征在于：包括：加载机构，用于加载外界施加的被测微纳力值；标准微纳力值发生装置，用于产生与被测微纳力值相平衡的标准微纳力值；弹性支撑机构，用于接收被测微纳力值和标准微纳力值并产生相应的形变；位置测量装置，用于测量弹性支撑机构的位置变化；所述弹性支撑机构的末端与位置测量装置连接，所述标准微纳力值发生装置和加载机构分别安装在弹性支撑机构的两侧。
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