[发明专利]一种高反射腔镜透过率的标定方法

摘要

本发明公开了一种高反射腔镜透过率的标定方法，该方法以高透射光学元件作为参考元件，基于光腔衰荡技术，先测量初始光学谐振腔的输出衰荡信号，拟合得到初始光学谐振腔的衰荡时间τ0；分别垂直和小角度倾斜插入参考高透射光学元件后，形成稳定测试光学谐振腔，分别测量参考高透射光学元件垂直和小角度倾斜时测试光学谐振腔的输出衰荡信号，拟合得到测试光学谐振腔的衰荡时间分别为τ1和τ2，经计算得到该参考高透射光学元件的剩余反射率；当参考高透射光学元件小角度倾斜时，测量参考高透射光学元件的反射光强信号与待标定高反射腔镜透射光强信号的比值，实现高反射腔镜透过率的标定。

主权项

一种高反射腔镜透过率的标定方法，其实现步骤如下：步骤(1)、将一束激光光束注入到稳定的初始光学谐振腔，所述初始光学谐振腔由一块平凹高反射镜和一块待测高反射腔镜构成直型腔或者由一块平面镜、一块平凹高反射镜和一块待测高反射腔镜构成“V”型腔，腔长为L0,探测光束从耦合镜注入谐振腔，由待测高反射输出腔镜输出，输出的光腔衰荡信号由第一个光电探测器测量；将测得的光腔衰荡信号按单指数衰减函数拟合得到初始光学谐振腔的衰荡时间τ0；步骤(2)、在初始光学谐振腔内垂直插入参考高透射光学元件构成稳定的测试光学谐振腔，将第一个光电探测器测得的光腔衰荡信号按单指数衰减函数拟合得到该测试光学谐振腔的衰荡时间τ1；步骤(3)、旋转参考高透射光学元件角度使其反射光束出射到测试光学谐振腔外，并由第二个光电探测器测量其反射光强信号，同时记录第二个和第一个光电探测器在相同时刻所测光强信号比值P1＝I1/I0，I0为第一个光电探测器探测得到的光强信号，I1为第二个光电探测器探测得到的光强信号，关断激光，将第一个或第二个探测器测得的光腔衰荡信号按单指数衰减函数拟合得到测试光学谐振腔衰荡时间τ2，经计算得到参考高透射光学元件的剩余反射率R＝[L+(ns‑1)d](1/τ1‑1/τ2)/c，其中c为光速，ns为参考高透射光学元件折射率，d为参考高透射光学元件厚度；通过对第二个与第一个探测器的放大倍数比值M的定标得到待测高反射腔镜的透过率T0＝RM/P1。