[发明专利]一种离轴椭球镜面形检测装置及其检测方法有效
| 申请号： | 201710332743.2 | 申请日： | 2017-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN106989693B | 公开（公告）日： | 2022-10-21 |
| 发明（设计）人： | 王方;康民强;陈良明;王德恩;张崑;董一方;黄醒;周丽丹;邓颖;胡东霞;粟敬钦;郑奎兴;朱启华;郑万国 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人： | 王豫川 |
| 地址： | 621900*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种离轴椭球镜面形检测装置及其检测方法，属于光学检测设备技术领域，所述检测装置依次包括干涉仪、聚焦透镜、拔高镜、第一小孔板、第二小孔板、离轴椭球镜、补偿透镜和全反镜，所述干涉仪用于输出激光束，聚焦透镜与干涉仪同光轴设置，拔高镜包括平行设置的第一反射镜和第二反射镜，第一小孔板和第二小孔板位于干涉仪光轴上且结构相同，离轴椭球镜的短焦点与聚焦透镜的焦点重合，经所述离轴椭球镜出射的反射光束与补偿透镜的光轴重合，所述全反镜与反射光束垂直放置，本发明具有结构紧凑、成本低、简单易操作、检测精度高、适用范围广的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 椭球 镜面形 检测 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种离轴椭球镜面形检测装置，其特征在于，依次包括：干涉仪，用于输出激光束；聚焦透镜，其与干涉仪同光轴设置，其焦点处设有小孔；拔高镜，其包括平行设置的第一反射镜和第二反射镜，所述第一反射镜位于干涉仪的光轴上，且第一反射镜与干涉仪的光轴呈45°，所述第二反射镜位于第一反射镜的正上方；位于干涉仪光轴上且结构相同的第一小孔板和第二小孔板，所述第一小孔板上设有高度不同的第一小孔和第二小孔，所述第一小孔板和第二小孔板平行设置，所述第一小孔的高度与激光束的中心高度相同；离轴椭球镜，其包括短焦点和长焦点，所述短焦点与聚焦透镜的焦点重合，所述离轴椭球镜的光轴与聚焦透镜的光轴重合，所述离轴椭球镜的中心高度与第二小孔的高度相同；以及补偿透镜和全反镜，经所述离轴椭球镜出射的反射光束与补偿透镜的光轴重合，所述全反镜与反射光束垂直放置。
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