[发明专利]控制在连续波和脉冲等离子体之间转换的方法和装置有效
| 申请号： | 201710333403.1 | 申请日： | 2017-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN107393799B | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | 赖灿锋;孟亮 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 李献忠;张静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及控制在连续波和脉冲等离子体之间转换的方法和装置。提供了用于在等离子体处理室中从第一等离子体条件平缓转换到第二等离子体条件的方法和装置。用于等离子体处理的装置可以配备有耦合到阻抗匹配网络的RF电源，以平缓地从连续波(CW)等离子体切换到脉冲等离子体(反向地或交替地)而不使等离子体猝灭。或者，等离子体处理室可以被配备在第一占空比的脉冲等离子体平缓地切换到第二占空比的脉冲模式而不使等离子体猝灭。这种转换可以通过使输送到等离子体处理室的RF电源的RF功率斜坡式变化、使占空比斜坡式变化和/或使脉冲频率斜坡式变化，使得阻抗可以在转换期间通过阻抗匹配网络平缓改变和匹配。 | ||
| 搜索关键词： | 控制 连续 脉冲 等离子体 之间 转换 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种从第一等离子体条件转换到第二等离子体条件的方法，所述方法包括：使用耦合到阻抗匹配网络的RF电源在等离子体处理室中点燃等离子体，其中所述RF电源在第一模式下操作以提供具有第一等离子体阻抗的第一等离子体条件；在所述RF电源在第二模式下操作之前，进行以下一个或多个斜坡式变化：(1)使所述RF电源的RF功率斜坡式变化到选定RF功率，(2)使所述RF电源的占空比斜坡式变化到选定占空比，以及(3)使所述RF电源的脉冲频率斜坡式变化到选定脉冲频率；以及使用在所述第二模式下操作的所述RF电源将所述等离子体维持在所述等离子体处理室中，以提供具有第二等离子体阻抗的第二等离子体条件，其中所述第二等离子体阻抗与所述第一等离子体阻抗实质上不同。
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