[发明专利]一种用于扫描探针显微镜的探针夹持装置有效
| 申请号： | 201710333970.7 | 申请日： | 2017-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN107202908B | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 王保敏;魏加峰;杨华礼;陈斌;李润伟 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | G01Q70/02 | 分类号： | G01Q70/02 |
| 代理公司： | 33291 宁波元为知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 单英 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于扫描探针显微镜的探针夹持装置，包括电路主板、压电陶瓷片、探针定位块，以及用于将探针固定在探针定位块上的夹具，该探针夹持装置可通过压电陶瓷片为探针提供驱动振源，有利于通过抬高模式高分辨测量磁畴结构，并且能够与探针形成热学回路，有利于探测温度/热导信号，解决了常规磁性测量夹具没有热电测量电路，不能检测热信号，以及常规热测量夹具磁信号测量分辨率差的问题，能在微区内对磁性、温度/热导等物理参量进行原位、实时、动态表征，以满足当前微/纳尺度下热科学与磁性纳米复合热电材料的表征需求。 | ||
| 搜索关键词： | 夹具 探针夹持装置 探针定位块 压电陶瓷片 热导 探针 扫描探针显微镜 复合热电材料 测量电路 测量夹具 常规磁性 磁畴结构 磁性纳米 电路主板 动态表征 探针固定 物理参量 信号测量 高分辨 热测量 分辨率 热电 热学 振源 抬高 探测 测量 尺度 驱动 检测 | ||
【主权项】：
1.一种用于扫描探针显微镜、可同时获得样品在微区的磁学信号与热学信号的探针夹持装置，探针通过所述的探针夹持装置固定在扫描器上，扫描器带动探针产生与样品之间的相对位移，所述的探针具有磁性、导电性与导热性；其特征是：所述的探针夹持装置包括电路主板、压电陶瓷片、探针定位块，以及用于将探针固定在探针定位块上的夹具；/n所述的压电陶瓷片位于电路主板上，二者间电绝缘接触；探针定位块位于压电陶片上，二者间电绝缘接触；扫描器与电路主板之间电连接，扫描器与探针定位块之间电连接；激励信号源一的正负极通过电路主板的两条电引线与压电陶瓷片的上、下表面形成电回路，用于激励压电陶瓷片产生振源传递至探针；/n所述夹具包括与探针相接触的夹片；激励信号源二的正负极通过夹片上的两条电引线与探针形成热学回路，探针与样品接触时进行热交换，使热学回路中的电信号发生变化，经采集分析得到样品的热信号。/n
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