[发明专利]可实现残余热应力消除处理的太阳能电池用硅片扩散炉有效
| 申请号： | 201710336489.3 | 申请日： | 2017-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN107190326B | 公开（公告）日： | 2018-03-13 |
| 发明（设计）人： | 吴卫伟;皇韶峰 | 申请（专利权）人： | 徐州中辉光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/16 | 分类号： | C30B31/16;C30B31/10;C30B31/12 |
| 代理公司： | 南京众联专利代理有限公司32206 | 代理人： | 顾进 |
| 地址： | 221600 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种可实现残余热应力消除处理的太阳能电池用硅片扩散炉，其包括有炉体，炉体之中设置有经由其外部导通至内部的进气管道与排气管道，排气管道之上设置有抽风机；所述炉体内部设置有用于安置硅片的石英舟；所述炉体之中包括有安置端面，安置端面之上设置有炉门，所述安置端面的边部与炉门之间设置有朝向炉体外部进行延伸的散热管道；所述炉体之中，排气管道之上设置有多个导通至散热管道之中的散热端口，多个散热端口沿散热管道的轴向均匀分布；上述可实现残余热应力消除处理的太阳能电池用硅片扩散炉可在硅片退炉过程中有效消除硅片内部的残余热应力，以确保硅片的完整性。 | ||
| 搜索关键词： | 实现 残余 应力 消除 处理 太阳能电池 硅片 扩散 | ||
【主权项】：
一种可实现残余热应力消除处理的太阳能电池用硅片扩散炉，其包括有炉体，炉体之中设置有经由其外部导通至内部的进气管道与排气管道，排气管道之上设置有抽风机；所述炉体内部设置有用于安置硅片的石英舟；其特征在于，所述炉体之中包括有安置端面，安置端面之上设置有炉门，所述安置端面的边部与炉门之间设置有朝向炉体外部进行延伸的散热管道；所述炉体之中，排气管道之上设置有多个导通至散热管道之中的散热端口，多个散热端口沿散热管道的轴向均匀分布。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于徐州中辉光伏科技有限公司，未经徐州中辉光伏科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710336489.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
