[发明专利]一种深层固化型固结磨料抛光垫的制备方法

摘要

本发明涉及固结磨料抛光垫的制备方法，属于化学机械抛光敷料制备技术领域。本发明以正丙醇锆为前驱体，复合环氧树脂与丙酮为介质，静电纺丝制备高折光纤维后，将高折光纤维与碳化硅磨料混合球磨并与其他物料进行共混，通过紫外光固化过程中，紫外光通过高折光材料的作用下，深入至固结磨料抛光垫深层进行紫外固化，有效改善固结磨料抛光垫固化速率和均一固化程度，有效改善抛光垫使用性能。本发明深层固化型固结磨料抛光垫干态铅笔硬度为3～4H，湿态铅笔硬度为3H/3～5B，溶胀率为2.67～3.56%，具有较长的使用寿命和较高的工作效率。

主权项

1.一种深层固化型固结磨料抛光垫的制备方法，其特征在于具体制备步骤为：（1）按质量比1:8，将3‑氨丙基三乙氧基硅烷与环氧树脂E‑51混合得树脂混合液，再按质量比1:10，将树脂混合液与丙酮搅拌混合，水浴加热得基体混合液；（2）按重量份数计，分别称量45～50份基体混合液、10～15份正丙醇锆、5～8份去离子水和3～5份三乙酰丙酮铁搅拌混合，用冰醋酸调节pH至5.5～6.0，再经水浴加热后过滤得滤液，将滤液置于65～70℃下旋转蒸发至原体积的1/5，制备得改性纺丝液；（3）取改性纺丝液置于静电纺丝装置中，调节静电纺丝器注射器角度为60°，控制接收距离为12～15cm，相对湿度为40%，施加电压为15kV，设置供料速度为0.5mL/h，静电纺丝得纺丝纤维，在室温下自然固化后，得改性折光纤维，按质量比1:10，将改性折光纤维和碳化硅混合球磨后过200目筛，得球磨混合粉料；（4）按重量份数计，分别称量45～50份6105‑80环氧丙烯酸酯、1～2份二苯甲酮、1～2份聚二甲基硅氧烷、3～5份聚乙二醇、5～10份甲基丙烯酸羟乙酯和15～20份球磨混合粉料研磨搅拌得研磨浆料，将研磨浆料浇注至模具中，静置固化后，脱模得坯料，将坯料置于紫外光固化机中，按1m/min速率进行紫外光固化，待固化完全后，在室温下静置6～8h，即可制备得深层固化型固结磨料抛光垫。