[发明专利]一种检测SF6混合气体成分的装置及方法

摘要

本发明提供一种检测SF6混合气体成分的装置及方法，涉及混合气体成分检测技术领域。检测装置包括高压直流电源、待检测气体测量罐和光谱检测系统，将待测混合气体充入测量罐中，通过高压直流电击穿气体，采用光谱检测系统测量SF6混合气体放电等离子体光谱特性，来检测SF6气体成分。本发明提供的检测SF6混合气体成分的装置及方法，在检测时所需待测气体样品量小，并且装置的操作简便，对后期数据的处理过程所需时间较短，对设备的正常工作几乎没有影响，能对长期运行的高压产品中的SF6混合气体电介质成分变化进行检测。

主权项

一种检测SF6混合气体成分的装置，其特征在于：包括高压直流电源、待检测气体测量罐和光谱检测系统；所述高压直流电源包括工频调压器、工频试验变压器、两个限流电阻、高压硅堆和高压电容器；所述工频调压器与工频试验变压器相连后与第一限流电阻、高压硅堆、高压电容器串联，经整流电路设计为电压为0～100kV的可调高压直流电源，待测气体测量罐与第二限流电阻串联后再并联在高压电容器的两端，组成气体击穿回路；所述待检测气体测量罐作为采样容器，与高压直流电源连接构成气体击穿回路，包括高纯硅玻璃罐壁、两个相对的铝平板电极和上下密封盖；所述两个相对的铝平板电极密封于所述高纯硅玻璃罐壁内部，并分别通过设有调距旋钮的金属螺杆固定于上下密封盖上，金属螺杆作为待检测气体测量罐与所述高压直流电源的连接端；两个铝平板电极之间设有一定间隙，设有调距旋钮的金属螺杆用于调节两个铝平板电极间的间隙大小；下密封盖上设有连接气管的通气口，通气口用来作为抽真空连接口，经过抽真空处理后作为待测气体进气口；所述气管上设有气压表和阀门，用于待检测气体测量罐内混合气体的气压调节；所述光谱检测系统与气体击穿回路相独立设置，包括光触发装置、光纤光谱仪和上位机，所述光触发装置连接光纤光谱仪的输入端，光纤光谱仪的输出端连接上位机，将测得的光谱特性信息传输给上位机；检测时，光纤光谱仪的光纤探头上的光接收口对准待检测气体测量罐中两个铝平板电极的间隙；所述上位机用于根据光谱特性计算气体放电过程中的电子数密度和电子温度，结合光谱特性信息对待测气体成分比例进行综合分析。