[发明专利]一种晶振探头用晶振盒有效
| 申请号： | 201710338718.5 | 申请日： | 2017-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN106967958A | 公开（公告）日： | 2017-07-21 |
| 发明（设计）人： | 向勇;孙力;曹德 | 申请（专利权）人： | 成都西沃克真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54 |
| 代理公司： | 成都新驱科为知识产权代理事务所(普通合伙)51251 | 代理人： | 成实 |
| 地址： | 610091 四川省成都*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶振探头用晶振盒，主要由盒体(1)，和设置在盒体(1)内的晶振台；其特征在于，所述晶振台为晶振台，该晶振台包括晶片承接台(2)，和与晶片承接台(2)相配合的三爪绝缘背板(3)。本发明的晶振台内设置了十二位晶片，通过转换位于检测孔的晶片便能对多种不同的靶材蒸发量进行检测，很好的解决了单片式晶片盒不能对多种靶材的蒸发量进行准确的检测的问题，从而有效的减小了操作者的工作量，很好的提高了晶振探头的工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 探头 用晶振盒 | ||
【主权项】：
一种晶振探头用晶振盒，主要由盒体(1)，和设置在盒体(1)内的晶振台组成；其特征在于，所述晶振台包括晶片承接台(2)，和与晶片承接台(2)相连接的三爪绝缘背板(3)；所述晶片承接台(2)上设置有多个的晶振片(4)，所述三爪绝缘背板(3)上设置有与晶振片(4)相配合的信号传输组件。
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