[发明专利]一种公自转轮式研抛磨头

摘要

本发明公开了一种公自转轮式研抛磨头，包括公自转机构和电动控制机构。所述公自转机构中公转轴线与自转轴线相互垂直，正交于研抛轮中心；所述研抛轮自转轴上安装有齿轮；所述齿轮在围绕公转轴线公转的同时还为研抛轮提供自转动力。所述电动控制机构包括直线音圈电机、三脚传力架、齿盘，所述直线音圈电机用于动态调控研抛中的研抛压力。本发明采用正交运动的结构方式，具有动转动平衡、去除效率高的优点；同时采取高精度、高响应频率的直线音圈电机作为研抛力控制执行器，输出准确的研抛压力。在研抛的时候通过自转、公转的配合以及压力的动态调控，实现高效、高精度的去除效果。

主权项

1.一种公自转轮式研抛磨头，其特征在于：包括公自转机构和电动控制机构，所述公自转机构中，公自转为联动，公转轴线与自转轴线相互垂直，正交于研抛轮中心；所述电动控制机构与公自转机构通过轴承卡接，用于动态调控研抛压力；所述公自转机构包括电机以及与电机轴向传动连接的减速器，所述减速器连接的联轴器带动主动同步带轮转动，所述主动同步带轮通过同步带带动被动同步带轮转动，所述被动同步带轮通过上下两个轴承卡接在被动同步带轮支撑座上，所述被同步带轮还通过联轴器与滚珠花键相连，所述滚珠花键为法兰式，滚珠花键法兰与研抛轮支撑架通过螺栓连接，所述研抛轮支撑架上安装有研抛轮；所述研抛轮的研抛轮轴上卡接有轴承和齿轮，所述轴承还卡接在研抛轮支撑架上，所述齿轮与齿盘啮合，所述齿盘与电动控制机构相连；所述电动控制机构包括直线音圈电机和三脚传力支架，所述三脚传力架上端连接直线音圈电机，下端与齿盘相连；所述电动控制机构中三脚传力架包括上板、支撑轴、浮动接头、压力传感器、压力传感器压板和下板，所述下板与齿盘相连，所述支撑轴与滑块相连；自转机构包括电机，电机通过减速器连接到联轴器上，减速器通过螺栓连接到电机座上，电机座通过螺栓连接到支撑板上，支撑板上设有可用于与其他设备连接的法兰。