[发明专利]一种MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201710339052.5 | 申请日： | 2017-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN107105377B | 公开（公告）日： | 2021-01-22 |
| 发明（设计）人： | 詹竣凱;蔡孟錦;周宗燐 | 申请（专利权）人： | 潍坊歌尔微电子有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 王昭智;马佑平 |
| 地址： | 261061 山东省潍坊市高新区新城*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS麦克风，包括衬底以及位于衬底上方的振膜、背极；在所述振膜的边缘位置形成有多个梳齿部，所述多个梳齿部间隔分布在振膜的周向方向上；其中，所述振膜上相邻两个梳齿部之间的位置通过绝缘层连接在衬底上；所述振膜上的梳齿部至少部分地与衬底重叠在一起，二者之间具有间隙并被构造为供气流通过的气流流通通道。本发明的麦克风，具有更好的抗冲击能力，而且还可以避免粉尘的入侵。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 麦克风 | ||
【主权项】：
一种MEMS麦克风，其特征在于：包括衬底(1)以及位于衬底(1)上方的振膜(2)、背极(5)；在所述振膜(2)的边缘位置形成有多个梳齿部(22)，所述多个梳齿部(22)间隔分布在振膜(2)的周向方向上；其中，所述振膜(2)上相邻两个梳齿部(22)之间的位置通过绝缘层连接在衬底(1)上；所述振膜(2)上的梳齿部(22)至少部分地与衬底(1)重叠在一起，二者之间具有间隙并被构造为供气流通过的气流流通通道(6)。
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