[发明专利]一种基于表面等离激元杂化波导的偏振分束器及分束方法有效
| 申请号： | 201710339396.6 | 申请日： | 2017-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN107229096B | 公开（公告）日： | 2019-08-09 |
| 发明（设计）人： | 路翠翠;郭伟轩;陈睿轩;崔方明 | 申请（专利权）人： | 中国空间技术研究院 |
| 主分类号： | G02B6/126 | 分类号： | G02B6/126;G02B6/122 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 范晓毅 |
| 地址： | 100194 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于表面等离激元杂化波导的偏振分束器和分束方法，其中，所述偏振分束器包括：壳体、和设置在所述壳体内的第一光波导和第二光波导；所述第一光波导和第二光波导平行、非对称、间隔设置；第一光波导和第二光波导之间的间隔形成纳米狭缝；第一光波导和第二光波导均由金属薄膜、低折射率薄膜、高折射率薄膜和纳米槽构成，所述壳体与所述第一光波导和第二光波导之间的空腔内填充空气。本发明所述的基于表面等离激元杂化波导的偏振分束器，具有超小尺寸、超低串扰、工作带宽大、利于集成等多个优点。 | ||
| 搜索关键词： | 光波导 偏振分束器 表面等离激元 波导 杂化 分束 壳体 低折射率薄膜 高折射率薄膜 间隔设置 金属薄膜 纳米狭缝 低串扰 非对称 工作带 空腔 填充 平行 体内 | ||
【主权项】：
1.一种基于表面等离激元杂化波导的偏振分束器，其特征在于，包括：壳体、和设置在所述壳体内的第一光波导和第二光波导；所述第一光波导和第二光波导平行、非对称、间隔设置；其中，所述第一光波导和第二光波导之间的间隔形成纳米狭缝；所述第一光波导包括：第一金属薄膜、第一低折射率薄膜和第一高折射率薄膜，以及贯穿所述第一金属薄膜、第一低折射率薄膜和第一高折射率薄膜的第一纳米槽；所述第一金属薄膜、第一低折射率薄膜和第一高折射率薄膜由下至上依次设置；其中，入射光射入侧为结构的下方；所述第二光波导包括：第二金属薄膜、第二低折射率薄膜和第二高折射率薄膜，以及贯穿所述第二金属薄膜、第二低折射率薄膜和第二高折射率薄膜的第二纳米槽；所述第二金属薄膜、第二低折射率薄膜和第二高折射率薄膜由下至上依次设置；所述第一光波导和第二光波导的外形尺寸参数相同；所述第一金属薄膜与第二金属薄膜等厚；所述第一低折射率薄膜与第二低折射率薄膜等厚；所述第一高折射率薄膜与第二高折射率薄膜等厚；所述第一纳米槽与所述第二纳米槽的结构尺寸参数不同；所述壳体与所述第一光波导和第二光波导之间的空腔内填充空气。
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