[发明专利]一种使用金刚线截断多晶硅锭的切割工艺

摘要

本发明公开了一种使用金刚线截断多晶硅锭的切割工艺。本发明采用金刚线进行切割，所述金刚线是金刚石切割线的简称，还被称为之位钻石切割线或者钻石线，原理是把金刚石的微小颗粒镶嵌在切割钢线上，做成的金刚石切割线。金刚线具有了金刚石微型的锯齿，增加了钢线的切割能力，可以大大加快切割速度及切割能力。截断过程中，配以切割砂浆，通过砂浆中的碳化硅，可以有效提升金刚线切割能力，同时通过砂浆中的切割液，有效降低崩边和缺角。

主权项

一种使用金刚线截断多晶硅锭的切割工艺，其特征在于：包括如下步骤：(1)、打开截断机的电、气开关，气压设定为0.6Mpa；(2)、进入操作画面，点同步网线上电按钮，等待“同步状态显示”中“网线虚轴”“进给虚轴”“摆动轴”显示变为绿色之后，才能点同步网线上电按钮；(3)、通过工艺参数按钮设定张力值，点摆杆归位按钮，线网自动慢速启动，待张力臂垂直之后线网停止转动，返回操作画面，线切割速度设定为0.1‑12m/s，旋转一个往复；在摆杆归位状态下左、右张力臂的设定值为20N，张力臂归位之后张力设为75‑80N后，才可以进行切割加工；(4)、将晶棒放在晶托上，并对好切割位置，在摆放硅块时，对好金刚线并紧靠挡块；(5)、将晶托推入切割室，关上切割室防护门；推入晶托时，一定要缓慢并匀速推入，轻轻的靠上切割室内的定位挡块；(6)、将手柄由手动改为自动，开始切割，线切割结束后，将手柄改为手动，将金刚线切割速度设定为0.1m/s，点开始线切割按钮，将进给速度设定为30mm/min，点工作台下降按钮，并观察切割线是否被切割缝隙卡住，在下降过程中，要让线轮慢速旋转，并观察线网在线缝中的位置，如有异常立刻纠正；(7)、拿下晶棒，清洗、测量、送检。