[发明专利]一种使用新型钢线和溶剂进行硅锭切割工艺

摘要

本发明公开了一种使用新型钢线和溶剂进行硅锭切割工艺，包括如下步骤上棒,将晶棒安装上机——更换钢线,安装新型110um钢线——换砂浆,将配置搅拌好的砂浆打入设备砂浆缸——切割前准备,检查机床状态,检查工艺参数——切割——切割后处理；所述切割中的砂浆由碳化硅和DEG按11的比例混合而成，所述碳化硅规格为1500号，直径为8微米，所述DEG为二甘醇的水性切割溶剂。本发明采用水性切割溶剂DEG替代PEG进行切割，同时要研究切割钢线和配套切割工艺，减少切片过程中出现的线痕以及崩边和缺角等问题，提高切片合格率。

主权项

一种使用新型钢线和溶剂进行硅锭切割工艺，其特征在于：包括如下步骤：上棒,将晶棒安装上机——更换钢线,安装新型110um钢线——换砂浆,将配置搅拌好的砂浆打入设备砂浆缸——切割前准备,检查机床状态,检查工艺参数——切割——切割后处理；所述切割中的砂浆由碳化硅和DEG按1：1的比例混合而成，所述碳化硅规格为1500号，直径为8微米，所述DEG为二甘醇的水性切割溶剂。