[发明专利]透射率分布测量系统及方法在审
申请号: | 201710340790.1 | 申请日: | 2017-05-15 |
公开(公告)号: | CN106970049A | 公开(公告)日: | 2017-07-21 |
发明(设计)人: | 马骅;杨一;原泉;任寰;张霖;石振东;马玉荣;陈波;杨晓瑜;柴立群 | 申请(专利权)人: | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
主分类号: | G01N21/59 | 分类号: | G01N21/59 |
代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371 | 代理人: | 宋南 |
地址: | 621900 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明提供了一种透射率分布测量系统及方法,属于光电子技术领域。该系统包括出光装置、平移台、成像装置以及控制装置,平移台用于放置待测样品,平移台位于出光装置与成像装置之间,成像装置与控制装置耦合。当待测样品置于样品台上时,探测光产生装置发出的探测光束入射到待测样品的待测区域,透过待测样品的探测光束入射到成像装置,在成像装置中所成的像被转换为电信号发送给控制装置。控制装置处理该电信号得到该待测区域的透射图像,并根据该透射图像及基准图像得到该待测区域的透射率分布数据。这样能够有效地提高系统的采样率,减少检测时间,提高测量效率。 | ||
搜索关键词: | 透射率 分布 测量 系统 方法 | ||
【主权项】:
一种透射率分布测量系统,其特征在于,包括出光装置、平移台、成像装置以及控制装置,所述平移台用于放置待测样品,所述平移台位于所述出光装置与所述成像装置之间,所述成像装置与所述控制装置耦合;当待测样品置于所述平移台上时,所述出光装置发出的探测光束入射到所述待测样品的待测区域,透过所述待测样品的探测光束入射到所述成像装置,在所述成像装置中所成的像被转换为电信号发送给所述控制装置;所述控制装置用于根据所述电信号得到所述待测区域的透射图像,根据所述透射图像及基准图像得到所述待测样品的待测区域的透射率分布数据,其中,所述基准图像为所述成像装置采集的所述出光装置发出的探测光束的图像。
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