[发明专利]一种大尺寸多通道层流激光剥蚀池有效
| 申请号： | 201710340840.6 | 申请日： | 2017-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN107228788B | 公开（公告）日： | 2019-12-06 |
| 发明（设计）人： | 胡兆初;陈力飞;史光予;罗涛;张文;宗克清;刘勇胜 | 申请（专利权）人： | 中国地质大学(武汉) |
| 主分类号： | G01N1/44 | 分类号： | G01N1/44;G01N27/62 |
| 代理公司： | 42238 武汉知产时代知识产权代理有限公司 | 代理人： | 曹雄<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 430074 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种大尺寸多通道层流激光剥蚀池，包括样品室腔体和样品座，所述样品室腔体的上表面和下表面分别设有氟化钙窗口框和透射光窗口，所述样品室腔体的左侧面开设有样品放置口，所述样品座通过所述样品放置口固定于所述样品室腔体内的中空腔中，所述样品座具有自其上表面下凹的样品容纳腔，所述样品座的上表面与所述样品室腔体密封设置，所述样品室腔体的右侧面开设有多个并列设置的气溶胶出气通道，所述样品室腔体的左侧面开设有多个并列设置的载气进气通道，所述气溶胶出气通道和所述载气进气通道均向内延伸与所述样品容纳腔连通。本发明的有益效果：在能放置大量样品的同时，还能克服气溶胶传输速度慢，记忆效应显著等缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 通道 层流 激光 剥蚀 | ||
【主权项】：
1.一种大尺寸多通道层流激光剥蚀池，包括样品室腔体和样品座，所述样品室腔体的上表面和下表面分别设有氟化钙窗口框和透射光窗口，所述样品室腔体的左侧面开设有样品放置口，所述样品座通过所述样品放置口固定于所述样品室腔体内的中空腔中，其特征在于：所述样品座具有自其上表面下凹的样品容纳腔，所述样品座的上表面和左端颈部与所述样品室腔体密封设置，所述样品室腔体的右侧面开设有多个并列设置的气溶胶出气通道，所述样品室腔体的左侧面开设有多个并列设置的载气进气通道，所述气溶胶出气通道和所述载气进气通道均向内延伸与所述样品容纳腔连通；所述载气进气通道的数量为2～5个，所述载气进气通道的内径为0.05～0.2mm；所述气溶胶出气通道为6～12个,每一所述气溶胶出气通道的内径为1～3mm；所述激光剥蚀池还包括一气帘汇集接头，所述气帘汇集接头具有多个与所述气溶胶出气通道对接的气帘槽，所述样品室腔体的右侧面还设有一排气螺丝。/n
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